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      • Roll to Roll Sputtering System 製品画像

        Roll to Roll Sputtering System

        Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

        Roll to Roll Sputter SystemはFlexible Display用フィルムなど機能性フィルム製造用コーティング装備で薄いフィルムにコーティング膜の厚さを維持しながら高速コーティ…

      • Smart film Vacuum Conditioner 製品画像

        Smart film Vacuum Conditioner

        PET Filmの前処理 & Filmの熱収縮の調整 &ITO膜の連続結晶化

        Smart film Vacuum Conditioner(SVC)はPET Filmの脱ガス・脱水分などの前処理及びFilmを無張力状態に加熱処理することで、Filmの熱収縮の調整(平坦化)、…

      • In-Line Sputtering System 製品画像

        In-Line Sputtering System

        平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

        In-Line Sputter Systemは平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備で連続的な大量生産に最適な競争力を持ちます。

      • Batch Type Sputtering System 製品画像

        Batch Type Sputtering System

        一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

        Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。

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