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      • ベアリングレス、磁気浮上ロータ・ファン 製品画像

        ベアリングレス、磁気浮上ロータ・ファン

        高いプロセス制御性能、防爆・耐薬品性の「ベアリングレス&シールレス; 磁気浮上ロータ・ファン」

        磁気浮上制御のファン・ロータ構造なので、 コンパクトな筐体にも関わらず、 高い出力性能と制御性能を発揮! ベアリング・軸受けの無い非接触運転となるため、 軸封からのガス漏洩のリスクと摺動摩擦に…

      • 精密空調『SA-Pシステム』 工場・研究棟の高品質空調に! 製品画像

        精密空調『SA-Pシステム』 工場・研究棟の高品質空調に!

        新技術”ヒートポンプダイナミクス”が空調の大幅な省エネを実現します。

        新技術 “ヒートポンプダイナミクス” は、ヒートポンプ技術による外気の熱回収に加え、 独自技術によって装置内排熱の回収とマージを行い、 強力な熱パックを生成。 冷却器、加熱器、加湿用加熱器でフル…

      • Air Stream  エアー・ストリーム  感染対策! 製品画像

        Air Stream エアー・ストリーム 感染対策!

        HEPAフィルター付きクリーンパーテーション!

        空間清流で感染対策 / 塵埃対策! =プッシュ・プル空間清流で、より安心な環境を!= 医療従事者の感染リスクを低減。小規模な作業スペースでの、塵埃付着の悩みを軽減します。 送風機(吹出…

      • 株式会社SCREEN SPEサービス 安全製品カタログ 製品画像

        株式会社SCREEN SPEサービス 安全製品カタログ

        安全を作ろう!警告音と光で危険を報知する製品や耐薬エプロンなどをご紹介

        当カタログでは株式会社SCREEN SPEサービスの製品を紹介しております。 危険区域の接近をアクティブに警告する「セバプロコーン」をはじめ、 不用意なEMOへの接近を音と光で警告する「セバプ…

      • SEBAPRO EMO 製品画像

        SEBAPRO EMO

        不用意なEMOへの接近を音と光で警告!生産性の維持・向上に貢献します

        『SEBAPRO EMO』は、本体に取り付けた距離センサーで周囲の状況を 常時監視、接近物を感知すると音と光で警告し、誤操作を未然に防ぎます。 工場全体への導入で、より確実な工程管理を実現。 …

      • 雑菌OFF-GRN グリーン(有機系水処理装置シリーズ) 製品画像

        雑菌OFF-GRN グリーン(有機系水処理装置シリーズ)

        水耕栽培で大敵の“根腐れ”を農薬を使わず根本解決!雑菌を分解・除去します

        『雑菌OFF-GRN(グリーン)』は、根腐れの原因となる雑菌を分解・除去します。 雑菌増殖が抑えられるため、養液の循環使用が可能になり、 肥料の節約に大きく貢献。 また、雑菌分解後は、植…

      • スライムOFF - CT  (有機系水処理装置シリーズ) 製品画像

        スライムOFF - CT (有機系水処理装置シリーズ)

        冷却水ラインやクーリングタワー維持管理の工夫でランニングコストと工場環境の改善!!

        『スライムOFF-CT(クーリングタワー)』は、冷却水ラインの水より酸化力の強い「OHラジカル」を生成。 その力で、冷却水ラインやクーリングタワーに発生する「スライム・藻」を分解除去! 除菌として…

      • <移動式>空調ユニット『DD-05』 製品画像

        <移動式>空調ユニット『DD-05』

        これまでの概念を変える移動式の“どこでも”精密温湿度空調!

        『DD-05』は、高精度な温湿度環境を提供することはもちろん、 移動式なため複数の用途でシェアが可能な精密温湿度空調ユニットです。 様々なシーンに対して小さいコストで大きな効果を発揮。 …

      • 装置の代替改造とEOL部品の修理サービス 製品画像

        装置の代替改造とEOL部品の修理サービス

        SCREEN装置を継続ご使用戴くための技術サポート!装置環境に的確に対応します

        当社では、部品調達や修理が困難な装置でも様々なご提案で継続稼働の サポートを行う『装置の代替改造とEOL部品の修理サービス』を承っております。 通常、部品修理については、部品交換・修理・代替部…

      • 装置リフレッシュ・サービス 製品画像

        装置リフレッシュ・サービス

        安価な簡易点検による診断!装置の状態と適したメンテナンスプログラムを確認可能

        当サービスは、SCREEN装置を長期に渡って安定して ご使用いただくための技術サービスプランです。 現在お使いの装置を、経験豊富な専門技術者が診断。 適した「装置リフレッシュメニュー」をご提…

      • 危険な薬液作業で必須! 耐薬エプロン『セバプロン』 製品画像

        危険な薬液作業で必須! 耐薬エプロン『セバプロン』

        危険薬液の飛散リスクのある作業も耐薬エプロンが安全を確保!

        『セバプロン』は、作業服・無塵服の上に着用する耐薬エプロン。 危険な薬液作業に必須! 多くの半導体関係企業様・薬液取り扱い企業様で標準採用いただいています。 安全性と作業性を両立した「…

      • フォトリソ・塗布ムラ確認用ライト 製品画像

        フォトリソ・塗布ムラ確認用ライト

        光源に高輝度イエローLEDを採用。小型で手持ちでき、確認環境を選ばす塗布ムラをその場で確認!

        『SEBAPRO Light4 Surface』は、塗装ムラをその場で簡単に確認できる フォトリソでの塗布ムラ確認用ライトです。 現場でのよりスピーディーな判断を可能にし、プロセス評価や装置の…

      • ハンディー型・危険警告センサー『SEBAPRO ECHO』 製品画像

        ハンディー型・危険警告センサー『SEBAPRO ECHO』

        制限エリアを超える接近を音と光で警告!3段階の距離検出レベルを設定可能

        『SEBAPRO ECHO』は、危険個所への接近を音と光で警告をする ハンディー型危険警告センサーです。 事前に危険個所に取り付けておくことで、制限エリアを超える接近を音と 光で警告し、作業…

      • 危険警告センサー<三角コーン対応型 SEBAPRO Cone> 製品画像

        危険警告センサー<三角コーン対応型 SEBAPRO Cone>

        危険を警告音と光で報知! 産業機器へ干渉の心配のないセンサーを採用

        『SEBAPRO Cone セバプロ コーン』は、危険エリアへの接近を音と光で警告。 工場や工事現場での開口部への ❝滑落事故防止❞ をサポートする危険警告センサー<三角コーン対応型>です。 …

      • フォトリソ・メンテナンス用ライト 製品画像

        フォトリソ・メンテナンス用ライト

        露光装置、コータデベロッパ装置のメンテナンスが安心して行えるライトのご紹介

        『SEBAPRO Light4/LightN』は、光源にレジスト感光波長域を持たない LEDを使用したメンテナンス用ライトです。 分光分布が分かっているので、プロセス環境で安心して使用可能。小…

      • 配管ステップ 製品画像

        配管ステップ

        用力保護に有効!工場内装置に接続されている用力配管上にステップを作ります。

        『配管ステップ』は、装置周りのメンテナンス環境の整備のため、 また、装置周りの用力保護のために有効な製品です。 設置環境に合わせてカスタマイズ可能。 半導体工場や、液晶・太陽電池・電子基盤製…

      • ホットプレート/クールプレート 製品画像

        ホットプレート/クールプレート

        卓上型のウェハ用ホットプレートとクールプレート!高い面内温度均一性です。

        『ホットプレート/クールプレート』は、高い面内均一性をもち 先端プロセスの基礎評価に有効な製品です。 確保ピンアップ機構により、正確な処理時間管理が可能。 プロキシミティーボールで、すべ…

      • 目視検査支援ユニット 製品画像

        目視検査支援ユニット

        半導体工場に!ウエハーやカセットの仕様に応じてカスタマイズします

        『目視検査支援ユニット』は、カセット内のウエハーを1枚ずつ リフトアップする補助装置です。 半導体ウェハ表面・裏面の目視検査のためにセミオートでウェハの 抜き取りを行います。 ウエハー…

      • バクテリアOFF (有機系水処理装置シリーズ) 製品画像

        バクテリアOFF (有機系水処理装置シリーズ)

        化学薬品を使わずにバクテリア除去が可能!液晶・電子基盤製造ラインなどに。

        『バクテリアOFFユニット』は、循環水槽で発生するバクテリアや有機物を 「オゾン溶解・紫外線照射・光触媒作用」の機能により分解除去します。 化学薬品を一切使わずに除去するので、プロセスに対し安…

      • ミスト回収ユニット 製品画像

        ミスト回収ユニット

        排気ダクトに流れる排気ミストを捕獲回収!危険な薬液の漏れを解消します

        『ミスト回収ユニット』は、洗浄装置の排気ラインに接続するだけで、 排気ダクトに流れるミストを削減します。 排気ダクトからの危険な薬液の漏れを解消。 捕獲された薬液は重力ドレンによりタンク内に…

      • <機能性2ライン>排気スクラバー! 酸/アルカリ/有機ガスを除去 製品画像

        <機能性2ライン>排気スクラバー! 酸/アルカリ/有機ガスを除去

        2つの排ガス処理ラインを内蔵する「2 in 1」構造が、 柔軟な運用と省スペース化を実現!

        装置から排出される複数種の排ガスに対応できる高機能ユニット。 充塡材を使用した気液接触方式を採用し、排ガスを高効率に廃液として除去処理。 また、工場排気ラインのフル活用では「機能ユニット」が有…

      • 石英管洗浄装置 製品画像

        石英管洗浄装置

        石英炉心管・石英治具の薬液洗浄から水洗を自動的に処理します

        『石英管洗浄装置』は、回転洗浄により石英炉心管を均一に洗浄します。 専用バスケットにより、石英炉心管・石英治具の薬液洗浄⇒水洗を自動的に処理。 薬液供給機能の搭載やHEPAフィルターの搭載…

      • 石英管保管庫 製品画像

        石英管保管庫

        石英管を守る耐震保護機能付き!置き場所を選ばない省スペース設計の石英管保管庫

        『石英管保管庫』は、石英管および関連石英パーツを 清浄な環境で安全に保管するためのユニットです。 ロータリーテーブル方式による効率的な収納レイアウトで、 入出庫の作業性をアップ。 置き…

      • ドラフトチャンバー 製品画像

        ドラフトチャンバー

        作業スペースを広く、手元を明るく!作業効率向上につながる設計です

        『ドラフトチャンバー』は、パーツ洗浄や各種化学実験で 安全な作業環境を確保します。 簡単な流し台構造から洗浄槽やエアガン、ハンドシャワー、作業台、 薬品供給、廃液等、用途に応じた多彩なオプシ…

      • <超小型>空調ユニット【SA-05】 製品画像

        <超小型>空調ユニット【SA-05】

        超小型で高性能なので使い方はいろいろ!装置への組み込みにも好適です

        『超小型 精密温湿度空調ユニット』は、これまで難しかった小空間での繊細な温湿度制御が可能です。新エナジー制御システムにより、フレキシブルな操作性と高効率な熱エネルギー交換を実現。高い安定性能と超低消費…

      • コーターデベロッパー用空調ユニット 製品画像

        コーターデベロッパー用空調ユニット

        冷媒機にインバーター圧縮機を採用し省エネ化を実現!

        『コーターデベロッパー用空調ユニット』は、部品調達や修理対応が 困難な従来型冷媒に代わる、代替フロン型空調ユニットです。 フロン類全廃への対応が進められ、部品調達や修理対応が困難な 従来型冷…

      • イオナイザー・ユニット 製品画像

        イオナイザー・ユニット

        LED照明付き!イオナイザーでの静電気除去で、作業効率、生産性向上!

        『イオナイザー・ユニット』は、プロセス装置内や作業エリアの 静電気を除去します。 イオナイザーでの静電気除去で、作業効率、生産性向上。 クリーンブース天井部、作業台壁面、また、プロセス装置内…

      • クリーンベンチ 製品画像

        クリーンベンチ

        手軽にクリーンな作業スペースを確保!クラス100の清浄度を保つクリーンベンチ

        『クリーンベンチ』は、手軽にクリーンな作業スペースを確保します。 清浄空気が正面から後方へ流れる水平流形と、 天井側から下方向に流れる垂直気流の2種類を準備。 作業台エリアを集中的に、ク…

      • 薬液サンプリング用クリーンブース 製品画像

        薬液サンプリング用クリーンブース

        防爆型ファンおよび、防爆型スイッチを採用!薬液充填作業に対応しています

        『薬液サンプリング用クリーンブース』は、クラス10のクリーン環境で 確実な作業ができるクリーンエアシステムです。 高い清浄度が求められる薬液充填作業に対応。 防爆型ファンおよび、防爆型スイッ…

      • 簡易クリーンブース 製品画像

        簡易クリーンブース

        安価に構築したい時にお勧め!約1時間で設置可能な組立式クリーンブース

        『簡易クリーンブース』は、精密機器のセル生産、組立、部品の梱包、 検査エリアの確保に好適な組立式クリーンブースです。 作業台100Vコンセント仕様により、電気工事不要。 クラス1,000~1…

      • クリーンブース 製品画像

        クリーンブース

        作業性・環境性能アップのために、多くのオプションをご用意!

        『クリーンブース』は、安価でクリーンルーム環境を構築できます。 クラス100~10,000のクリーンルーム環境の設営が可能。 連結使用で、広いクリーンルーム環境、レイアウト変更にも対応します。…

      • レビトロニクスポンプ(磁気浮上型遠心ポンプ) 製品画像

        レビトロニクスポンプ(磁気浮上型遠心ポンプ)

        パーティクルの発生無し!流量制御性能が高い非接触型インペラの遠心ポンプ

        『レビトロニクスポンプ』は、コンタミネーション発生の原因となる 軸受や開閉バルブを持たない送液ポンプです。 クリーンでかつ、安定した流量・圧力制御が求められる工程での 送液でより威力を発揮。…

      • 廃液回収ユニット 製品画像

        廃液回収ユニット

        用途に応じた幅広い仕様に対応!運転中にタンク交換が可能な連続回収ユニット

        『廃液回収ユニット』は、操作性と安全性を追求した連続回収ユニットです。 製造装置からの処理後、薬液を専用容器に回収します。 回収容器は自動切換で、運転中にタンク交換が可能。 多くの検知機能を…

      • 薬液供給ユニット 製品画像

        薬液供給ユニット

        お客さまのニーズに合わせ幅広い仕様に対応!操作性と安全性を追求しました

        『薬液供給ユニット』は、エッチング・洗浄処理等で使用する薬液を プロセス装置へ供給するユニットです。 ポリタンクやキャニスターを複数本収納し、自動切換運転により連続供給が可能。 接続する…

      • 新標準!純水加温ユニット 製品画像

        新標準!純水加温ユニット

        昇圧機能を搭載し、さまざまな新旧工場に柔軟に対応!新標準の純水加温ユニット。※ラインアップ多数用意しております。

        『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、加温した純水を供給し昇圧機能を標準搭載した純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントが実現。特に既存設備からの入れ替え…

      • 帯電防止ユニット 製品画像

        帯電防止ユニット

        設置スペースを節約!高性能な中空糸膜を介して炭酸ガスを純水に溶解させ供給!

        『帯電防止ユニット』は、静電気によるゴミの再付着と、基板パターンの 静電気破壊を防止する装置です。 DIWのイオン化で導電性が付与され静電気を除去。 複雑な機構を持たない独自の配管分配方…

      • スラリー薬液供給ユニット 製品画像

        スラリー薬液供給ユニット

        CMPスラリーにダメージを与えない新送液システムを搭載!

        『スラリー薬液供給ユニット』は、CMPスラリーを供給するユニットです。 CPMスラリーは、非常に物理的衝撃に影響を受けやすい敏感な薬液です。 本装置では、CMPスラリーにダメージを与えない新送…

      • 純水昇圧ユニット 製品画像

        純水昇圧ユニット

        ポンプ能力を加減制御して安定した供給を可能に。機能豊富でコンパクトなデザイン

        『純水昇圧ユニット』は、純水供給圧の不足や変動を解消する純水昇圧装置です。純水昇圧ユニットを導入により、純水供給圧の不足や変動の問題は解消されるため、安定したプロセス処理を行うことができます。 …

      • 株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】 製品画像

        株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

        製造ラインの「性能アップ」と「安定稼働」を支えるお客さまの技術パートナー

        プロセス装置の最適化改造から、工場内の各種周辺機器のご提供まで、お客様の製造ラインの安定稼働と生産性アップに貢献します。 近年、電子デバイスの高性能化と多様化に伴い、製造環境の最適化は、ますます…

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