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      • 熱対策製品『放熱フィラー』『ヒートシンク』 製品画像

        熱対策製品『放熱フィラー』『ヒートシンク』

        「熱がこもる」課題を解決し、サーマルマネージメントに貢献。MILスペックのヒートシンクなど

        当社では、物性比較において熱伝導率1000W/m・K超えを実現した『TMP-EX ヒートシンク』や、 優れた熱伝導率と低誘電性のBNフィラー『PolarTherm』などの 熱対策製品を製造・開発し…

      • 高熱伝導ラミネート 製品画像

        高熱伝導ラミネート

        熱伝導1500W/mKのTPGに色々な材料をコーティングしたフレキシブルな熱伝導材

        1500W/mKの熱伝導を有するコア材TPGに色々な材料をコーティングしたユニークな高熱伝導性ラミネート。ハイパワーモジュール、モバイルデバイスの放熱に適しています。

      • 複合体ヒートシンク 製品画像

        複合体ヒートシンク

        熱伝導1000W/mKの熱膨張を最適化した複合体ヒートシンク

        1500W/mKの熱伝導を有するコア材TPGと熱膨張を最適化したカプセル材を複合化した超高熱伝導ヒートシンクです。ハイパワー、高周波用半導体チップのパッケージに適しています。

      • 耐熱性BNコーティング剤 非鉄金属プロセス用 製品画像

        耐熱性BNコーティング剤 非鉄金属プロセス用

        耐火材や型の寿命を延ばし、製品の出来栄えを向上させる高温プロセス用潤滑、離型コーティング

        アルミニウム、銅、マグネシウムなど非鉄金属の高温プロセスで使用できるBNコーティング。 耐火物や金型を腐食から防ぎ、寿命を延ばします。 非鉄金属の鋳造、押出し、ダイキャスト、鍛造などに。 ・…

      • GaN半導体 MOCVD用機能部品 製品画像

        GaN半導体 MOCVD用機能部品

        高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。

        Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績…

      • SiC半導体製造用機能部品 製品画像

        SiC半導体製造用機能部品

        2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

        Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッ…

      • 高温用グラファイト保護コーティング 製品画像

        高温用グラファイト保護コーティング

        高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。

        グラファイト部品にPBN(熱分解窒化ホウ素)、PG(熱分解グラファイト)、TaC(タンタルカーバイド)などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品…

      • タンタルカーバイドコーティング 製品画像

        タンタルカーバイドコーティング

        SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを低減し、グラファイトを保護する炭化タンタルコーティング技術

        『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果が…

      • サーマルレベラー(温度分布改善技術) 製品画像

        サーマルレベラー(温度分布改善技術)

        熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトTPGを使用した温度分布改善技術。ヒータの温度分布を改善し、ヒータ寿命を延ばします。

        熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトとメタライズ技術を使用して様々な部品の温度分布を改善します。 ヒートスポットによる問題を解決し、部品の寿命を延ばします。 【用途】 ■ヒータの温度…

      • 真空装置や半導体製造装置に使用する部品の高温真空熱処理 製品画像

        真空装置や半導体製造装置に使用する部品の高温真空熱処理

        真空装置、半導体製造装置に使用する部品を真空中で高温処理します。プロセスの立上げ、工程時間の短縮に貢献します。

        クリーンルーム中で真空チャンバを使いグラファイト、セラミックス、メタル部品などの脱ガス処理を行います。表面に付着したガスだけではなく、内部に浸透した水分なども除去できます。 【用途】 ■真空装…

      • 1000w/m-K超の高熱伝導製品で、高効率化の問題解決! 製品画像

        1000w/m-K超の高熱伝導製品で、高効率化の問題解決!

        厳しい条件下での放熱や高発熱部のヒートスポットの解消に対応できる高熱伝導製品をご紹介!

        当社は、高配向性グラファイトTPGと封止/メタライズ技術による高熱伝導製品群を開発いたしました。 電子基板、LED/LDや半導体チップ、金型などの放熱/冷却、高性能ヒートシンク、医療機器、サーマルス…

      • 【航空宇宙産業の方必見!】高熱伝導製品『TC-1050ALY』 製品画像

        【航空宇宙産業の方必見!】高熱伝導製品『TC-1050ALY』

        1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導性製品

        『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽…

      • メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』 製品画像

        メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』

        PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ蒸着などの真空蒸着に好適。

        『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。 毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロ…

      • 半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス 製品画像

        半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

        シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性ガス雰囲気中などで優れた性能を発揮。

        パイロリティックボロンナイトライド(PBN)やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。…

      • 『BNコーティング』※高温下でも優れた潤滑性を発揮! 製品画像

        『BNコーティング』※高温下でも優れた潤滑性を発揮!

        米国NSFで認証された固体潤滑剤です。ペイントタイプ、パウダータイプなどを取り揃えております。

        『BNコーティング』は、優れた付着力と被覆性を持ち、高温下でも 優れた潤滑性や離型性を発揮します。 当製品を利用することで金型や成型器具の利用年数を延ばすだけでなく、 製品表面の仕上りを大き…

      • 【放熱でお困りの方必見!】高熱伝導製品『TC-1050ALY』 製品画像

        【放熱でお困りの方必見!】高熱伝導製品『TC-1050ALY』

        1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導性製品

        『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽…

      • 熱伝導BN(窒化ホウ素)フィラー『PolarTherm』 製品画像

        熱伝導BN(窒化ホウ素)フィラー『PolarTherm』

        低誘電率、電気絶縁性、熱伝導に優れた熱伝導BNフィラー!電子部品などの寿命を向上。5Gや次世代型高周波機器に対応

        『PolarTherm』は、放熱効果により電子部品や実装基板の寿命を延ばし 信頼性を高める熱伝導フィラー(放電性フィラー)です。 化学的に安定している当製品は耐湿性もあり、 高い電気絶縁性と…

      • メタルカーバイドコーティング 製品画像

        メタルカーバイドコーティング

        腐食性雰囲気の高温ウェハプロセスなどでグラファイトを保護するメタルカーバイドコーティング技術!部材の寿命の延長効果を発揮

        『メタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があ…

      • PBNヒータ&静電チャック 製品画像

        PBNヒータ&静電チャック

        1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現!先端技術使用のPBNとPGの複合体

        Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素(PBN)と導電体である熱分解黒鉛(PG) の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高…

      • 高熱伝導製品シリーズ 製品画像

        高熱伝導製品シリーズ

        厳しい温度制御、高効率化の問題を解決!1000w/m-K超の高熱伝導製品群

        『高熱伝導製品シリーズ』は、高配向性黒鉛TPGと封止/メタライズ技術 により開発された1000w/m-K超の製品群です。 制御基盤や半導体デバイス等の放熱・冷却やヒートスポットの解消などに最適…

      • パイロリティックボロンナイトライド(PBN) 製品画像

        パイロリティックボロンナイトライド(PBN)

        高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミックス!半導体製造など幅広い業界で活躍

        『パイロリティックボロンナイトライド(PBN)』は、高い電気絶縁性と優れた熱伝導性を併せ持つ異方性の熱分解窒化ホウ素です。 色々な形状に蒸着製造または薄板などへの加工が可能。軽量で化学的耐性があり、…

      • グラファイトモノクロメーター『HOPG』 製品画像

        グラファイトモノクロメーター『HOPG』

        優れた分光能を発揮するグラファイトモノクロメーター!X線や中性子の回折装置等に好適

        『HOPG』は、優れたX線と中性子回折能を持ち合わせた高純度な高配向性熱分解グラファイトです。 X線回折では従来の結晶の約3~5倍、シングリーベント集光モノクロメーターは等量の分解能でフッ化リチウム…

      • 『BNセラミックス』 製品画像

        『BNセラミックス』

        形状のカスタマイズにも対応できるセラミックス!工業用途として幅広く活躍

        『BNセラミックス』は、ホットプレスにて製造された高密度、高強度の セラミックスです。 加工が容易で特別な形状にも対応可能。 ユニークな特性により様々な工業用途で幅広く使用されています。 …

      • 高温下でも優れた潤滑性を発揮する『BNペイント、スプレー』 製品画像

        高温下でも優れた潤滑性を発揮する『BNペイント、スプレー』

        高温下でも優れた潤滑性を発揮するBNペイントおよびスプレー!付着性に優れ製品表面の仕上がりを改善

        『BNペイント、スプレー』は、優れた付着力と被覆性を持ち、高温下でも優れた潤滑性や離型性を発揮します。 当製品を利用することで金型や成型器具の寿命を延ばすだけでなく、製品表面の仕上りを大きく改善する…

      • 高熱伝導製品『TC-1050ALY』 製品画像

        高熱伝導製品『TC-1050ALY』

        1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導性製品

        『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。色々…

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