ノベリオンシステムズ株式会社 企業イメージ
先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓くノベリオンシステムズ株式会社
ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。
事業内容■プラズマ応用装置の開発と製造販売
・ECRラインビームイオン源（ELBSシリーズ）
・モジュール型ECRプラズマ源（EPSシリーズ）
・ミリング用低エネルギー大電流イオン源
・内径スパッタコーティング装置
・各種プラズマ応用装置の開発受託と技術コンサルティング 他
■特殊成膜プロセスの加工受託
・CFCダイバータブロック（核融合実験炉の炉壁）への接合界面処理 他
詳細情報
製品・サービス（7件）一覧
カタログ（7件）一覧
ノベリオンシステムズへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
