メンテナンス・オーバーホールサービス
修理調整から移設立ち上げまで!メーカーサービスサポートの終了した機器もご相談下さい
当社では、「ASM・PXJ-200などのロボットリプレイス作業」をはじめ、様々な 『メンテナンス・オーバーホールサービス』を行っております。 半導体・CVD関連装置のメンテナンス・調整後には、…
半導体製造装置用プロセスコントローラー
グラフィカルに各種装置・PLCを制御!医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能
『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置 「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡…
縦型減圧CVD装置
10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能!カスタマイズ可能
縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 …
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