ケミカルフィルタ
半導体製造や各種開発実験・評価試験において要求される超清浄環境の実現や、光学系部品等の汚染による性能劣化防止にご使用いただけます。
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ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」
さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィルタ
「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエ…
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さまざまな汚染物質からレンズを保護し、更に長寿命化したケミカルフィルタ
「リソガードLPSフィルタ」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルタ」の除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざま…
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ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステム
「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。 キャビネット内にL…
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高純度の空気環境が必要とされる工程での圧縮空気のろ過に好適です！
「リソガードPOU（Point-Of-Use/ 局所）フィルタ」 は、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルタです。 物理および化学吸着により通過気体中…
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- 表示件数
- 45件
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