クリーニング装置
クリーニングヘッドの中で正圧負圧のダイナミックエアーにより乱気流が発生し、基材表面に高周波微動が加えられ、基材表面の境界層を破壊し、境界層内の異物(コンタミ)を確実に除去する非接触型クリーニング装置です。バリ等の半結合した異物(コンタミ)には、ロータリーブラシ式の接触型クリーニング装置もございます。
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