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重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」
重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック
重量物非接触搬送装置（フロートチャックSA-５C(SAN)型）は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッシ…
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凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触にて搬送します。
非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 これはレンズと対じする作動面に凹・凸レ…
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超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック
幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベルヌーイチャック
超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直…
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。
ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより …
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グリーンシート・スルーホール基板・通気性シート・不織布を非接触にて搬送する。
非接触搬送装置である「フロートチャックＬＮＡ－Ｓ型」は、空気を噴出することにより、セラミックグリーンシート・スルーホール基板・不織布・通気性シートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 非接触搬送装置…
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空気でつかむ
●気体を噴出することによりベルヌーイ効果・エゼクタ効果により生じた負圧によりLCOS個片を非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能…
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６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内…
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ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置
ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイチャック。
ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の…
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高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック
本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。 半導体製造工程における洗浄槽、…
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マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非接触にて所定の位置に搬送します。
◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２…
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空気流にてリング、スペ-サ、穴状ワークをソフトにグリップ・搬送する「O-リンググリッパー」
「O-リンググリッパー」は、 空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による 負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、 「O…
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気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズ
気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズ…
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ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型
オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」
ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触…
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化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウエハを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。
◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２…
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クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
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１機種のレンズベルヌーイチャックにて広範囲の曲率のレンズに対応可能
「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」は、 空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果…
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ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多…
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水和工程のソフトコンタクトレンズを掴むピンセット
水和工程の含水したコンタクトレンズを人手で掴む「含水したソフトコンタクトレンズ用ピンセット」は、空気を噴出することによりコンタクトレンズを把持し移載します。 また脱着する際には搬送装置内部を昇圧させ…
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濡れているソフトコンタクトレンズを搬送します。
水和工程の含水したソフトコンタクトレンズを搬送します。 「ソフトコンタクトレンズ移載装置」は、空気を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるレンズの吸引把…
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気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」
気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「フロートチャックSAC型」
ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製…
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脆いフィルム,超薄シートを非接触にて把持し移載いできます。
脆いフィルム、薄いシート、柔軟性シート、通気性シ－トを搬送する 「脆弱フィルム搬送装置」。 ◎特徴 １．脆い、弱い、薄いフィルムを破損せずに搬送が可能である。 ２．噴出気体流がフィルムに衝突…
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気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析
気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理論的に解明する計算式を作成。
非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャ…
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50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」
「５０μm厚 超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は非接触搬送装置は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に…
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ガラスモールドレンズのプレス成形金型への挿入・取り出しを非接触にて行います
ガラスモールドレンズのプレス成形金型への挿入・取り出しを非接触にて行う 「ガラスモールドレンズ非接触挿入・取り出し装置」です。 １．ケースより取り出し位置決め冶具に移裁する工程 ２．位置決めされ…
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サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型
排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構を装着したクリンルームで使用可能なベルヌーイチャック。
1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルお…
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ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック
クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送します。 クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、…
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積層された通気性シート、フィルム、不織布、紙を非接触搬送装置「フロートチャック」にて１枚ずつ高速にて供給する
通気性の薄いシート。フィルム、不織布、紙に対応。１枚ずつ送り出す。高速。
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微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。
非接触である。 微小なワークを非接触にて搬送可能。 傷、汚れの付着がない。 損傷がない。
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アモルファス太陽電池搬送装置
空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触…
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射出成形機非接触取り出し機
「非接触射出成形取り出し機」は、空気を噴出することにより高速空気旋回流の粘性作用によるエゼクタ効果により内部空間に負圧を生じさせ、この負圧によりワークを吸引するとともに、圧力室型クッション効果による反…
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フィルム・シート搬送装置
フィルム、プリント基板、スルホール基板、紙、不織布、柔軟シート、通気性シートを気体を噴出することにより保持、搬送するチャック。
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空気供給on-offマニュアル操作によるウエハ非接触ピンセット
ウエハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をピンセットのようにハンドルに付いたバルブをマニュアル操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い。ウエハ、チップ、レンズを非接触にてつかむ。
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１０Gガラス基板非接触搬送装置
気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損…
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不織布(自動車用マット)搬送装置
車内装用不織布(マット）を空気流にて把持し搬送する「不織布把持・搬送装置」 車の天井材、マット、内装用不織布を１枚ずつ把持し、成形機・プレス機に搬送します。空気を噴出することにより不織布との間隙に応…
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FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬送する
フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワ…
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非接触ロボットハンド
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌ…
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穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能。
１．スルーホール穴あき基板、フィルム基板 吸着可能 ２．基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能 ３．段積み基板を１枚ずつ吸引 ４．吸着器の段取り替えが不要 ５．傷、汚れパッド跡を付着しない
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偏向板・フィルム・ＦＰＣを高速にて精度よく積層する
送られてきたフィルムを非接触にて、精度よく揃えて集積する。 本装置は、弊社が開発しました空気を噴出することにより偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する無接触搬送装置「フロートチ…
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基板の大きさ、穴の位置により段取り替えすることなく基板を吸着、搬送する。
基板の大きさ、穴に位置による吸着具の段取り替えの必要はありません。空気を噴出することによる負圧発生機能により基板を非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。従って基板に傷、汚れを付着させません。
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石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧
ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能
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ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド
非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。
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積層されたフィルム、紙、不織布、シートを１枚ずつ基板に精度よく張り合わせる
太陽電池基板、液晶基板、ウエハにフィルムに張り合わせる工程、不織布を単板に張り合わせる工程他、積層された柔軟性フィルムあるいは通気性のシートを精度良く基材に張り合わせる「フィルム張り合わせ装置」です。…
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送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する
１． 特徴 ａ．非接触にて積層・段積みする ｂ．フィルムに傷・汚れを付着させない ｃ．高速である。 ｅ．クリーンである。 ２．適応 ａ．偏向板 ｂ．ＦＰＣ ｃ．プラスチック板 …
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厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 する。
TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費…
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フィルムを非接触にて搬送・積層・送出する
アモルファス太陽電池、偏光板、導光板、フィルム、紙、シートを非接触にて送り出し、搬送、積層する装置。空気を噴出することにより非接触にてフィルムを搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を採用…
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