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ウェハーキャリア・バスケット PTFE(四弗化エチレン樹脂)
PTFEは耐薬品性、耐熱性に優れた樹脂です。
シリコンウェハー、ガラス基盤などを保持するキャリア・バスケットです。
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PTFEは耐薬品性、耐熱性に優れた樹脂です。
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