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ゲージ圧は最大120℃・絶対圧は最大100℃まで対応可能。
ピュアロン圧力センサーPC-302-HT-ANシリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温対応可能なフルスケールで±0.25%ゲージ圧以下と高精度な圧力センサーです。（300KPG、絶対圧タイプは…
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ゲージ圧は最大120℃・絶対圧は最大100℃まで対応可能。
ピュアロン圧力センサーPC-302-HT-ANシリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温対応可能なフルスケールで±0.25%ゲージ圧以下と高精度な圧力センサーです。（300KPG、絶対圧タイプは…
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真空容器内に既知の流量の各種気体を導入することができる装置です((独)産業技術総合研究所との共同研究）
・ほぼあらゆる気体(混合ガスを含む)を用いての既知の流量を真空容器等に導入が可能 ・流量が上流圧力に比例 ・様々な流量を容易に発生させることが可能（コンダクタンスが一次圧力に対して一定） ・温度…
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従来の校正リークの代替に
校正リークには、メンブレンタイプ、キャピラリータイプが用いられますが、使用条件・環境によっては、破損、詰まりによる頻度の高い交換を行う必要があります。これらの改善策として、弊社にてSCEを開発いたしま…
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最大1,000lpmまでの流量を確保
■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディア…
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スループットが大幅に向上
半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製 ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真…
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測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃（環境温度：-10〜250℃）まで対応しております。ボディへはSUS3…
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小型のＤＩＮサイズ［４８ｍｍ(Ｗ)×２４ｍｍ(Ｈ)×６６ｍｍ(Ｄ)］で、デジタルスケーリングが前面で操作可能です。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルメーターリレーです。 Ｈｉ、Ｌｏ比較出力(リレー出力)、アナログ出力付です。ＲｏＨＳ指令対応品。
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ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター
■配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。 ■既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。
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ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致しました。
(株)ピュアロンジャパン製 ジャケットヒーターです。
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各種集積化ガスシステム用圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。
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接液部にテフロンを使用
半導体製造ラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-５００シリーズは、接液部にテフロンを使用しており、半導体製造・薬品製造等のラインにおいて超純水から腐蝕性の強い媒体…
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腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズ
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されておりま…
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優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣＤ-９０５シリーズは優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサーで、接ガス（液)部にＳＵＳ３１６Ｌ材を採用す…
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小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接点の比較出力を標準装備しております。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 ピュアロン製圧力センサー ＰＣ‐３０２、５０１、６０１とあわせてご使用いただけます。また、電源回路と信号系はアイソレーションされて…
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視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。
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操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。
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常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。
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優れた温度特性を有する高精度センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-３００シリーズは優れた温度特性を有する高精度センサーで、接ガス（液）部にＳＵＳ３１６Ｌダブルメルト材を採用する…
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プリーツ加工された濾過膜は面積が広く、低圧損かつ高流量を可能にしました。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 液体中の微粒子を効果的に除去するために開発され、メディアは耐薬品性及び耐熱性に優れたテフロンを採用しております。素材は全て熱溶着されて…
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コンパクトな構造・高精度にして低価格
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。
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低価格・小容量で取り付けが簡単です。
(株)ピュアロンジャパン製 プラスチック製フィルターハウジングです。
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高清浄度活性炭を内蔵
(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効…
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±0.25%の高精度圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-302シリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温タイプも選択可能なフルスケールで±0.25%の高精度圧力…
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腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６００シリーズ
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、ＨＢｒ、ＨＣｌ等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されておりま…
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液体中の微粒子を効果的に除去するために開発
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 １００％ポリプロピレンで構成されたメディアは耐薬品性及び耐熱性に優れています。素材は全て熱溶着されており、溶出物がありません。また、プ…
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腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。
(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り…
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小容量タイプがあります。
(株)ピュアロンジャパン製 ステンレス製フィルターハウジングです。
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２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。
(株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。 コントローラーユニットには、加熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。フィルターから簡単に着脱できます。温度・時間などの設…
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業界トップレベルの耐ノイズ性能を誇ります。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-７００シリーズは当社独自の電磁波シールド構造とＥＭＩフィルター及び貫通コンデンサーの採用により強力な高周波ノイ…
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取付時間の短縮によるコスト低減につながります。
(株)ピュアロンジャパン製 比抵抗率計です。 セル本体はケーブルとコネクタ接続方式になっており配管などへの取付作業時にケーブルが邪魔になりません。セル部の構造はボディと外極部とが一体構造になっており…
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薬液中の幅広い粒子を効果的かつ経済的に除去できます。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 ポリプロピレン１００％の濾材で構成されており、耐熱性や耐薬品性にも優れています。
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SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。
取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
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濾過精度
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。
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ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミ…
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幅広い濾過精度に対応
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐…
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歩留まりを大幅に向上
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰ…
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コンパクトサイズでより高流量のガスを処理
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コ…
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全ての材質にハステロイを使用
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いライン…
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濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。
全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
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高濾過精度
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。
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高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
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安定した濾過性能
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
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濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造
(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。 濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパー…
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ノーバインダー型ですので濾材からの抽出物が無く、濾材繊維の剥離もありません。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 ファインなポリプロピレン繊維(不織布）を密度勾配で多層状にした、長寿命の濾材です。
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