真空システム、真空コンポ―ネントのことならお任せください。
バキュームプロダクツは真空システム、真空コンポ―ネントの設計・製造いたします。真空システムは成膜装置(PLD、スパッタ、CVD、多元蒸着装置など)、加速器周辺機器(レンズ、デフレクター、ゴニオメーターなど)や低速陽電子ビーム装置などの研究分野から、産業分野では成膜装置の「大面積化」をテーマに各種処理装置を開発し商品化いたしました。真空コンポーネントでは、新たに自社オリジナル商品のクリスタル真空計の技術をベースに2成分混合気体濃度測定装置を開発し、第一段として小型オゾン濃度計として販売する予定です。
事業内容●各種真空装置、部品の設計・組立および販売
●超高真空室内搬送機器の設計・組立および販売
●各種荷電粒子源の設計・組立および販売
●各種真空機器の商品開発、製造技術のコンサルタント
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