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      SPPテクノロジーズ株式会社 企業イメージ

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      MEMS製造に欠かせないボッシュプロセス対応ディープシリコンエッチングの国内トップメーカー

      MEMS製造に欠かせないボッシュプロセス対応ディープシリコンエッチングの国内トップメーカーとして、グループ会社である英国SPTS社(旧STS社)と共に蓄積した豊富な実績に基づき、様々なソリューションをご提供できるプロセス装置群をお届けします。MEMS製造はもとより、パッケージング(三次元実装、CSP)、パワーMOSシリコントレンチなどの各種アプリケーションに対しても、研究開発から量産までの幅広いニーズに対応しています。

      事業内容

      ●半導体製造装置の製造販売
      用途:MEMSデバイス(加速度センサ、ジャイロセンサ、圧力センサ、シリコンマイク、シリコン共振器、光スイッチなど)、インクジェットプリンタヘッド、RFデバイス、TSV(3次元貫通電極)、パワーデバイス、LED、化合物半導体

      詳細情報

      製品・サービス(15件)一覧

      カタログ(9件)一覧

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