東京電子株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造…

0.2%BeCu （0.2%ベリリウム銅合金）

アウトガスを抑制する全く新しい真空構造材、0.2%BeCu （0.2%ベリリウム銅合金）でウルトラクリーンを造り出す！

今までに無い全く新しい真空構造材、0.2%BeCu！ 従来、真空の構造材としてはステンレススチール（SUS）が一般的。 しかしながら、SUSは熱特性が悪く、高温になってしまうためガス放出が多い材料です…

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせて…

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービスを行います。

分析アプリケーション例（蓄積法） 破壊分析 　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定 　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 非…

【ウェビナーご招待】デバイスの質量ガス分析

極微少量の「残留ガス」検知で半導体チップや車載センサの劣化防止｜超高性能「質量ガス分析装置」とは、業界動向・事例を紹介

この度、ものづくりや研究開発に携わる技術者のためのデジタル放送局 『アペルザTV』（運営：株式会社アペルザ）への出演が決定いたしました！ アペルザTVは、事前登録により無料でご視聴いただけます…

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも検出

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真…

極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか？

答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想のガス分析…

真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか？

答えはこちら！真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご紹介！

素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材！ BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わず…

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を…

極微小リーク分析

極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご紹介！

刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデ…

低ガス放出・低温化を実現する 0.2%BeCu合金技術資料

従来の常識を破る真空構造材 0.2%BeCu合金 低ガス放出・低温化を実現！ステンレススチールの代替えに。

真空構造材といえばステンレスやチタンがが一般的ですが熱線（赤外線～可視光）の吸収率が非常に大きく、しかも熱が伝わりにくい金属です。 そのため、一旦熱が吸収されると、熱が逃げにくく真空チャンバーやフラン…

多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアップした分析装置として、高性能なモデルをそろえた質量分析計！

多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。 【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下にお…

差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適！

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システム…

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替えに。

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合…

極高真空(XHV)製品『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで 従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を 大幅に低減する新たな真空構造材です。 B…

超高感度 質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に！

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析…

技術資料『HiPIMSで 最高クラスのスパッタ成膜を！』

【無料プレゼント】スパッタリング成膜の豆知識や、最大の課題であるアーク異常放電の対策方法などを図解でわかりやすく解説！

スパッタリングとは大面積かつ、均一に薄膜形成が可能な方法であり、 半導体やLCDの製造に広く使用されています。 ただ、最大の課題である『成膜中に発生する異常放電（アーキング現象）』は ターゲ…

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル…

電源装置『アーク抑制型HF-HiPIMS用パルス電源 』

【限定5社デモ機受付中】アーク異常放電を抑制し成膜不良を激減！平均電力アップにより成膜レートを向上させた画期的なパルス電源！

スパッタリングの最大の課題であるアーク異常放電を抑制する機能とHiPIMSの最大の課題である成膜レートを向上させる機能(特許取得済)を備えたHIPIMS用パルス電源です。 弊社独自のHF(High …

『魔法のニップル』

0.2% BeCu合金製材料の特性を活かしたアイディア商品をご紹介！

『魔法のニップル』は、0.2%BeCu合金材料の特性を生かしたアイディア商品です。 BAゲージなどの熱陰極電離真空計は、ゲージ点灯中にゲージポート付近に 触ってみると、かなり温かくなっているは…

高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！

『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。 RGAイオンソースのデ…

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。…

四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！

『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技…

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 …

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減！

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 …

電源装置『HiPIMS用パルス電源』

高密度のプラズマを生成し、高いイオン化率により高品質の成膜をする方法を用いた電源装置

HiPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）とは、 スパッタリングの一種で、低いduty比で集中させた高い電力を 瞬間的にカソードに投入することで…

電源装置『高電圧半導体スイッチ』

スイッチング素子としてSiC-MOSFETを採用し、電力損失を大幅低減

『高電圧半導体スイッチ』は、高電圧で 高速なパルスを発生させる、電源装置です。 FETを90段直列に接続し、最大90kVのスイッチングを実現しました。 運転周波数は直流から5kHzまでのパル…

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを …

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（ICF70）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを …

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。 数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジ…

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。