株式会社リバティー

フィーリング測定機（荷重測定機）

人が物を操作する時に感じる心地良い感触を開発・安定維持する為の測定機です。

飛行機や電車、自動車の運転からカメラ、PCキーボード、携帯電話、電卓と人が操作する機械は色々と有ります。 ボタンやスイッチを押した感覚。 コラムやレバー等を操作した感覚。 キーボード等に触れた時…

ウエハ移載機（ウエハソーター）

ウエハ移載機（ウエハソーター）

本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット：　350wph OCR / 850wph t…

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット：　350wph OCR / 85…

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。 ウエハサイズ50〜20…

EFEM（Equipment Front End Module）

EFEM（Equipment Front End Module）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スルー…

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルによ…

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット：　300wph OCR / 750wph tra…

ウエハ移載機（ウエハソーター）

ウエハ移載機（ウエハソーター）

本装置は、4ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット：　350wph OCR / 850wph t…

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマを使用した簡易型枚葉式プラズマクリーナーです。 600mm（W）×600mm（D）×750mm（H）（ポンプ除く）の小型プロセス装置です。

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチ…

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

本装置は、SMIF対応2ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット：　350wph OCR / 850wph tra…