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FOUP/FOSB対応ウエハ移載機(300mmウエハ対応移載機)
FOUP/FOSB対応ウエハ移載機(300mmウエハ対応移載機)
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター(移載機)です。 ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。 スループット: 350wph OCR / 85…
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EFEM(Equipment Front End Module)
EFEM(Equipment Front End Module)
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。 ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。 スルー…
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枚葉式プラズマエッチング処理装置(枚葉式プラズマエッチャー)
枚葉式プラズマエッチング処理装置(枚葉式プラズマエッチャー)
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング(灰化除去)等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルによ…
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バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)
ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチ…
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