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日本インテグリス合同会社

      日本インテグリス合同会社 企業イメージ

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      日本インテグリスは、最先端の製造工場の歩留まり向上に貢献する材料およびソリューションを提供します。

      日本インテグリスは、半導体およびその他のハイテク産業向けのコンタミネーションコントロール、貴重な材料のハンドリング、先端プロセス用材料におけるマーケットリーダーです。

      事業内容

      液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。
      ガスシリンダー関連製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー(SDS)。
      薬品・水の移送/制御関連製品:バルブ、継手、ディスペンスシステム、流量コントローラ、サニタリー配管部品、流量計、圧力計、薬品コンテナー、薬液容器・送液システム、濃度計、溶存酸素濃度計。
      デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。
      特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。
      表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。
      先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-K材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム。
      分析機器:AccuSizer 個数カウント式粒度分布測定器 など..
      上記製品の開発、販売、サービス。

      詳細情報

      製品・サービス(41件)一覧

      カタログ(16件)一覧

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