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      • ヒーターコントローラー 週間タイマータイプ 製品画像

        ヒーターコントローラー 週間タイマータイプ

        4チャンネル・タイマー制御!目覚まし時計感覚で加熱開始が可能です。

        週間タイマー付きヒーターコントローラーは、設定された時間にヒーター制御を開始(または停止)させることのできるコントローラーです。 プロセス原料やワークなど、作業開始時には適温に温まっていて欲しい。 …

      • ヒーターコントローラー 4チャンネル・タイマー制御 製品画像

        ヒーターコントローラー 4チャンネル・タイマー制御

        4系統のヒーター制御!明瞭・大型表示ではっきり確認できます。

        株式会社メープルのヒーターコントローラーは、真空チャンバー製造や成膜装置製作の経験を基に、現場での作業性・使い勝手を第一に考えた「真空屋のヒーターコントローラー」です。 真空チャンバーに必要不可欠な…

      • GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置「MDC8540L」 製品画像

        GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置「MDC8540L」

        【無料デモ実施中!】新開発・高性能設計で大幅なコストダウンを実現!作業者の負担も軽減されます

        「MDC8540L」は、パワーデバイスや青色レーザーダイオード、青色LED等の化合物半導体製造用MOCVD装置の治具に、成膜時に堆積するGaN、AlN等のドライエッチング方式で洗浄するMDCシリーズの…

      • 双扉式蒸着重合装置「MDP2015」 製品画像

        双扉式蒸着重合装置「MDP2015」

        大型基板に対応!シンプル&ハイタクトは生産性重視の樹脂性基板成膜装置!

        「MDP2015」は、樹脂基板に抵抗加熱蒸着法によるアルミニウムなどのメタル膜を成膜後、腐食を防止するポリマー保護膜をプラズマ重合によりせい膜する装置です。 扉を左右に二つ設けることにより、プロセス…

      • 寸法カスタマイズ可能な蒸気洗浄機 製品画像

        寸法カスタマイズ可能な蒸気洗浄機

        精密部品、光学ガラス部品から自動車・衛星まで。幅広く利用可能の蒸気洗浄機

        精密部品、光学ガラス部品をはじめとして電子部品や自動車関係、衛生関係部品に至るまで幅広い分野で使用する事が可能。 真空装置で問題となる「出ガス」を大幅に取り除く事も可能とした蒸気洗浄機です。

      • GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置 【無料デモ実施中!】 製品画像

        GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置 【無料デモ実施中!】

        ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減!ウェット洗浄に比べて大幅な時間短縮!

        GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。 パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色…

      • ランプアールユニット 製品画像

        ランプアールユニット

        ランプアールユニット

        急速加熱、高精度温度分布を実現した ランプアールユニット 【特徴】 ○サークル形状の高出力赤外線ランプヒーターを用いて  基板の上下から加熱することで、急速加熱・高精度温度分布を実現 …

      • マルチ真空プロセス装置 製品画像

        マルチ真空プロセス装置

        真空運搬ロボットを搭載したクラスター型複合プロセス装置

        センターチャンバーの周辺にロードロック室を含め、全6室を搭載可能な クラスター型複合プロセス装置 【特徴】 ○センターチャンバーと各室間にゲートバルブを配置しコンタミを防止 ○ゲートバルブ…

      • 卓上型UV照射装置 MUV 製品画像

        卓上型UV照射装置 MUV

        試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

        大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板(試料)にUV照射を行い  表面…

      • スパッタ成膜ユニット 製品画像

        スパッタ成膜ユニット

        スパッタ成膜ユニット

        マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて  使用する事が可能 ○2…

      • 膜厚測定用 エリプソメーター 製品画像

        膜厚測定用 エリプソメーター

        膜厚測定用 エリプソメーター

        膜厚&屈折率を短時間で測定可能な 膜厚測定用エリプソメーター 【特徴】 ○各種透明薄膜(例:ITO、ZnO2、SnO2、SiO2等)に適用 ○単色光+フルマニュアルで低価格を実現 ○サン…

      • マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット 製品画像

        マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット

        マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット

        6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット 【特徴】 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現 ○センターチャンバーのメインポンプ(…

      • アブゾール洗浄機 製品画像

        アブゾール洗浄機

        アブゾール洗浄機

        【特長】 ●塩素系溶剤(TCE等)に匹敵する洗浄性能を持つアブゾール(ABZOLTMJG)を使用 ●アブゾール蒸気を利用した蒸気洗浄方式を採用 ●最大700*700*500の部品まで洗浄…

      • 超音波洗浄機 製品画像

        超音波洗浄機

        洗浄槽にはフィルター循環方式を採用

        【特長】 ●汎用性の高い洗浄槽+リンス槽(2槽)の組み合わせ ●超音波発振器は洗浄槽とリンス槽(1槽)に装備(38kHz/600W) ●洗浄槽にはフィルター循環方式を採用 ●リンス…

      • スピン現像装置 製品画像

        スピン現像装置

        スピン現像装置

        ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の 現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。 【特長】 ●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。 …

      • マスフローコントローラ MFC-100 製品画像

        マスフローコントローラ MFC-100

        接続面間長124mmのスタンダードモデルのマスフローコントローラ

        MFCとしてハイパフォーマンス性能をそろえています。 メープルのMFCはMRA対応のJCSS校正された、臨界ノズルと圧力計・温度計で 校正されている標準器から得られる流量値により校正します。

      • マスフローコントローラ MFC-120 製品画像

        マスフローコントローラ MFC-120

        コストパフォーマンスに秀でたエコノミータイプの マスフロー

        メープルのMFCはMRA対応のJCSS校正された、臨界ノズルと圧力計・温度計で 校正されている標準器から得られる流量値により校正します。

      • GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置 製品画像

        GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

        GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のご紹介

        GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

      • マスフローコントローラ MFC-200 製品画像

        マスフローコントローラ MFC-200

        接続面間長106mmのコンパクトサイズのマスフローコントローラ

        シンプルなMFC廃刊接続を可能とします。 メープルのMFCはMRA対応のJCSS校正された、臨界ノズルと圧力計・温度計で 校正されている標準器から得られる流量値により校正します。

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