【測定法】質量分析法
◆SIMS(二次イオン質量分析法)
◆TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)
◆TG-DTA-MS(示差熱天秤質量分析法)
◆GC/MS(ガスクロマトグラフィー質量分析法 )
◆LC/MS(液体クロマトグラフィー質量分析法)
◆LC/MS/MS(液体クロマトグラフィー質量分析法)
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【事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT 二次元電子ガス層評価
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT(High Electron Mobility Transistor)」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層(2DEG)が得られ、…
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