林純薬工業株式会社電子材料部

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受託サービス＜画像観察/薬液処理＞　※半導体基板や液晶基板など

高精細なSEM写真を提供可能！半導体基板、液晶基板、電子デバイス基板などの画像観察受託サービス

林純薬工業株式会社は、電子材料用薬液メーカーとしてエッチング液や剥離液など機能性薬液の開発/評価を行ってきました。開発/評価で培った画像観察のノウハウをもとにご要望に合わせた画像観察を行う…
試薬調製サービス＜導入事例進呈＞

少量から大容量まで。独自のブレンド技術で好適な製品を提供。試薬調製の負担を無くし、業務改善にも貢献

当社では「独自のブレンド技術」「高品質製品をつくる検査体制」「柔軟性のある関連技術」「多彩な取り扱い関連製品」により、用途に適した試薬調製サービスを提供しています。総合試薬メーカーとし…
電子デバイス分野における化学薬品の「受託加工サービス」

豊富な経験と技術力を活かし、高品質な化学薬品を提供。多様な分析機器を取り揃え、品質管理も徹底

当社では、液晶パネルや半導体、電子部品などの製造に使用する各種化学薬品の『受託加工サービス』を提供しています。多種多様な分析機器を取り揃えており、適切な分析機器と高度な分析技術によって…
【プロジェクトストーリー】事例のご紹介

　

お客さまの事業をとりまく課題やリクエストは多種多様。林純薬工業はさまざまなアプローチで課題を解決しています。私たちの創造力で取り組んできたプロジェクトについて、以下リンクよりご参照いただけます…
低メタル（UHP）グレード薬品 PGMEA

低メタルグレード（UHPグレード）のPGMEAを製品化。超低メタルが求められる分野に使用できるグレードとして、ご提案します。

・精製による低メタル化　　　　33元素　50ppt以下を保証・高精度分析による金属保証　　　　ICP-MS/MS導入、分析技術の向上・品質管理の徹底　　　　製造環境から供給容器まで…
【総合カタログ】110年分の歴史・技術が詰まった高機能性薬品

電機・電子デバイス製造に欠かせない各種機能性薬品。創業110年の経験と技術・ノウハウが詰まった、高機能性薬品の総合カタログ。

林純薬工業は創業から110年の歴史を誇る、高機能性薬品を提供する機能性工業用薬品メーカーです。このたび、その経験と技術を凝縮した機能性薬品の総合カタログを発行することとなりました。各金属膜エッチン…
Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品

Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・良好な順テーパーを形成します。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 …
Alテーパーコントロールエッチング液

AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・所望のテーパー形状（テーパー角）を形成します。・ Al、Al合金膜を良好にエッチングします。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 …
Ag・Ag合金・Ag系積層膜エッチング液

Ag単膜、APC（Ag-Pd-Cu合金）などのAg合金膜単膜、またはAg/透明導電膜の積層膜エッチングに最適なエッチング液です。

本製品の特長は以下のとおりです。・エッチングレートが安定しています。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 …
Cuエッチング液「Pure Etch C series」

Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。・良好な順テーパーを形成します。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 …
Cuシード層エッチング液

Cuめっき/Cuシード構造に対して、Cuめっき配線やバンプへのダメージ少なく、Cuシード層をエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・ Cuめっきの細りが少ないです。・ Cuの表面荒れが少ないです。・さまざまなシード層に適用可能です。（無電解銅めっき～スパッタ銅）・ Dip方式、S…
Tiエッチング液標準品、Tiシード層エッチング液

Ti膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とTiシード層エッチング用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。・ Cu/TiやW/Tiなどの積層膜に適し…
Wエッチング液「Pure Etch W series」

W膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・良好な順テーパーを形成します。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。・ …
TiWエッチング液「Pure Etch TE series」

TiW膜を良好にエッチングします。成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、詳しくはお問い合わせください。

本製品の特長は以下のとおりです。・良好な順テーパーを形成します。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。・エッチン…
Auエッチング液「Pure Etch AU series」

Au膜を良好にエッチングします。Auめっきへのダメージ少なく、Auシード層エッチングが可能なシード層用エッチング液もあります。

本製品の特長は以下のとおりです。・低温、短時間での処理が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。・微細なバンプ形成やパターン形成プロセスに適しています。キ…
Crエッチング液「Pure Etch CR series」

Cr膜を良好にエッチングします。微細パターン形成を検討される場合には、濡れ性向上のための前処理液のご提案も行っています。

本製品の特長は以下のとおりです。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。・ BM（ブラックマトリクス）やフォトマス…
Niエッチング液「Pure Etch NE series」

Ni膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。キーワード：ウェットエッチング、ニッケ…
ITOエッチング液「Clean Etch ITO series」

ITO膜を良好にエッチングします。a-ITOエッチング用とp-ITOエッチング用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。・エッチング後の残渣がありません。・低発泡性であり、破泡性に優れています。・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。キーワード：…
Agナノワイヤーエッチング液

Agナノワイヤー膜を良好にエッチングします。フルエッチング用とパーシャルエッチング用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。・低温、短時間での処理が可能です。・組成や処理条件を調整することにより、フルエッチングすることも可能です。キーワード：ウェットエッチング、銀ナノワイ…
PZTエッチング液「Pure Etch PT series」

PZT（lead zirconate titanate,チタン酸ジルコン酸鉛）膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・少ないサイドエッチ量で、残渣無くエッチングします。・さまざまな成膜方法のPZT膜に対応しています。（ゾルゲル法、スパッタ法、その他成膜法）・Dip、Spr…
水晶エッチング液「Pure Etch ZE series」

レジストや金属膜（Au、Crなど）によるマスクを腐食することなく、水晶を従来品より平坦な底面形状でエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・断面形状のテーパー角の角度差を従来品より低減可能です。・エッチング底面を従来品より平坦にエッチング可能です。・厚みの均一性が良好です。キーワード：…
Alダメージレス絶縁膜エッチング液

Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。・ Al、Al合金を腐食しません。・良好な順テーパーを形成します。・ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。・Pure Etch …
AlダメージレスSiエッチング液（異方性）

Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・平滑なエッチング面の形成が可能です。・デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。・エッチング液の劣化が少ないです。・前処理液とし…
Siエッチング液（等方性）

Si膜を良好に等方性エッチングします。等方性エッチング液標準品のほか、Si基板の薄化に最適な薄化用エッチング液もあります。

本製品の特長は以下のとおりです。・低温、短時間での処理が可能です。・エッチング後の表面は鏡面です。キーワード：ウェットエッチング、シリコン等方性エッチング、シリコン基板薄化
レジスト剥離液（アミン/溶剤系、溶剤系）

レジストを良好に剥離します。アミンと溶剤を混合した系統の剥離液および、溶剤を混合した系統の剥離液を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。・金属膜や絶縁膜を腐食することなく、レジストを良好に剥離します。・低温から高温での処理が可能です。キーワード：レジスト、非水系
レジスト剥離液（水系）「PureClean MCseries」

レジストを良好に剥離します。含水系剥離液は消防法の危険物に該当しません。

本製品の特長は以下のとおりです。・金属膜や絶縁膜を腐食することなく、レジストを良好に剥離します。・低温、短時間での処理が可能です。・ NMPを使用していません。キーワード：レジ…
カラーフィルターリワーク剥離液、ポリイミド剥離液

BM、RGB、OC、PS形成後のリワーク剥離、またはポリイミド剥離に最適な化学薬品です。

本製品の特長は以下のとおりです。・中間リンスが不要です。・低泡性で、スプレー処理やブラシ洗浄の併用が可能です。・引火点がなく、消防法非該当品です。・カラーフィルターリワーク…
単結晶シリコンテクスチャーエッチング液

単結晶シリコン基板にテクスチャー（形成可能サイズ：2～3μm）を形成します。

本製品の特長は以下のとおりです。・1液タイプで、アルカリに添加して使用します。・ 2～3μmのTEXサイズが形成可能です。・薬液使用量が少なく、薬液ライフが長いです。・処理後の表面…
AlGaInP粗面化エッチング液

AlGaInP膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

本製品の特長は以下のとおりです。・所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。・低温、短時間での処理が可能です。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード…
GaP粗面化エッチング液

GaP膜の表面およびGaP基板の表面、斜面、側面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

本製品の特長は以下のとおりです。・所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。・低温、短時間での処理が可能です。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード…
AlGaAs・GaAs粗面化エッチング液

AlGaAs膜、GaAs膜、GaAs基板の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

本製品の特長は以下のとおりです。・所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。・低温、短時間での処理が可能です。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード…
GaN（N面）粗面化エッチング液

GaN（N面）膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

本製品の特長は以下のとおりです。・所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。・室温～高温での処理が可能です。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード：…
Ni粗面化エッチング液「Pure Etch MF series」

特殊な技術を用いることなく、Niの表面を良好に粗面化エッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・所望の凹凸を形成します。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード：化学的粗面化、凹凸、ニッケル、めっき、スパッタ
SUS粗面化エッチング液「PureEtch MF series」

特殊な技術を用いることなく、SUS材の表面を良好に粗面化エッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。・さまざまなSUS材の表面に所望の凹凸を形成します。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード：化学的粗面化、凹凸、ステンレス鋼
粗面化エッチング液

反射率低減、効率向上、密着性向上、シリコン、化合物半導体、金属表面を粗らします。

・所望の凹凸を形成します。・凹凸形状の面内均一性が良好です。キーワード：化学的粗面化、凹凸、ニッケル、めっき、スパッタ、フロスト処理、LED、発光ダイオード、アルミニウムインジウムガリ…