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モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。
モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダ…
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オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機能搭載のウェハー拡張装置
オペレータが求める『優れた作業性』実現！ 従来の装置になかった自動カット機能を搭載したウェハー拡張装置のモデルです。 今まで行っていました余分なフィルム（ダイシングフレーム）との切り離し作…
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ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ
拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナンスフリーを実現。
EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 …
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最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター
オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。
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プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンター
PFM-9008は、プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンターです。 プリカットテープの貼付けには、高価な専用装置が必要でしたが、シンプルなマニュアル機で行います。 R&D、…
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真空フィルム貼付装置のご紹介！ローラーでの破損問題を解決します
『真空マウンター』は、ストレスを与えたくないワークに対応したモデルの真空フィルム貼付装置です。 ローラーでの破損問題を解決。 真空で貼り付けることでワークに気泡が入らず、貼り付け条件（真空度、…
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導電性PPを使用！試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です
『グリップリングケース』は、グリップリング、またはダイシングフレームに嵌合／貼り付けられたウェハーを1枚収納可能。 スタック可能なため省スペースで保管可能。 試作品や少量の搬送、出荷、保管に好…
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UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-708」
波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです！
『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな LED光源UVフィルム硬化装置です。 UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、 8インチ…
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「ダイシング工程におけるテープ貼り付けプロセス」についてご紹介
『テープマウントハンドブック』は、半導体製造装置、洗浄装置、後工程組立装置の 開発・販売を行っているテクノビジョンの技術資料です。 当資料は、「ダイシング工程におけるテープ貼り付けプロセス」に…
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加熱部にステンレス（SUS 316-EP処理）を採用した不活性ガス／クリーンドライエアー用ヒーター
各種乾燥装置、エアーナイフ、水切り装置等に使用されるクリーンドライエアー（CDA）、不活性ガスのクリーン加熱用に最適です。
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簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。
お客様のご使用環境から必要なユニットをチョイスしマスク洗浄を行えます。 ■主な特長 ・7インチまでのマスク洗浄に使用できます ・研究開発用途や少量のマスク洗浄に最適 ・既存の装置と…
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「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装置
マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。 2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄と リンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマス…
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フィルム貼付装置｜マニュアルマウンター FM-224シリーズ
研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が可能
ウェハーマウンター／テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。 ダイシングの工程で重要とされる”ウェハー…
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UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」
ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が可能
【モデルUVC-512】は、特定波長（365nm）の紫外線を照射することのできる装置です。UV（紫外線）硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可…
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フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ
プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置
【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。 ウェハーサイズは、下記２タイプを用意 ■FM-6648：8インチまで ■FM-6643…
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プリセットされた貼付け条件で気泡なしにオートラミネーション
12インチ（300mm）対応のセミオート式テーブルトップタイプの小型テープ貼付機。 テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応できる最適なテープ貼付機です。 マニュアル装置に「肝心の貼付け…
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マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去
TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。 本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。 特にレジスト除去に関し…
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UVフィルム硬化装置｜全自動 LED光源仕様「UVC-300A」
高圧水銀灯やメタルハライド光源と比較しても十分な硬化性能（硬化状態、硬化スピード）を発揮します
テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2（10mm work distance）の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。 …
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UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」
小型・軽量・小フットプリント装置
ワークを回転させながら照射させるため、 ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置
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洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。
『高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮！』 多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソ…
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超純水用加熱ヒーター｜スーパークリーンヒーター「QHシリーズ」
流体を汚染させること無く瞬間加熱を行うことが可能で、装置組込みや既設ラインへの組込み等、インライン設置に最適です。
流体を汚染させる事無く瞬間加熱を行うヒーター。 加熱部に高純度石英を採用
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フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行 テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊…
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フォトマスク洗浄装置｜PDP・大判フォトマスク用 TW-1000
スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施！
テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモー…
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インナーリング、アウターリングのダブルリング構造で拡張状態を保持
伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーリング(白色）とアウターリング（黒色）で挟み込み（はめ合わせ）ピンと張りつめた状態をキープできるダブルリングです。 はめ合わせに方向性を持たない双方向性グ…
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UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-300」
LED光源で長寿命！ 波長 365nmの紫外線（UV）を照射
LED光源を使用した、UVフィルム硬化装置です。 従来の装置と同水準の装置価格のままで、ランニングコストを1/10以下に抑えることができます。 水銀灯やメタルハライド光源と比較して、硬化性能（…
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UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用
紫外線オゾン洗浄装置は、特定波長の紫外線を照射しオゾン（O3）を生成、その生成したオゾンを利用し有機化合物を酸化・分解させることで、 ワーク表面の有機物汚染の除去、表面改質を行うUV洗浄装置です。 …
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