平田機工株式会社 ロゴ

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      • ウェーハ搬送システム EFEM 製品画像

        ウェーハ搬送システム EFEM

        業界で評価されたロードポート、ロボット。

        高速搬送と高クリーンを実現するウェーハ受け渡し装置。

      • ウェーハ搬送ロボット 大気対応 AR-Wn180CL 製品画像

        ウェーハ搬送ロボット 大気対応 AR-Wn180CL

        高速搬送を実現する搬送ロボット

        軽量化・省スペースに対応。 【機能】 ○高クリーン性能  磁性流体シール等により、パーティクルの発生を抑制 ○高スループット  業界トップクラスの500枚/hの搬送を実現 ○バ…

      • ウェーハ搬送ロボット 真空対応 AR-WVシリーズ 製品画像

        ウェーハ搬送ロボット 真空対応 AR-WVシリーズ

        低真空環境から高真空環境まで対応可能な搬送ロボット

        高精度、高速輸送により、高スループットを実現します。

      • ロードポート FOUPオープナ 製品画像

        ロードポート FOUPオープナ

        300mmウェーハ対応のFOUP専用オープナ。

        差圧を必要としない機構設計と、気流解析による清浄空間の確保。

      • 自動車関連生産設備 エンジン関連設備 製品画像

        自動車関連生産設備 エンジン関連設備

        納品前に実際の動作確認が可能。徹底した共通化によりメンテナンスフリー。

        巨大なエンジン組立ラインでも、当社工場内で総合試運転を実施し、実際の動作を確認できます。ACSコンセプトをベースに構成しており、部品一つに至るまで共通化しているのでメンテナンスや保守部品の手配も容易で…

      • 第8世代液晶ガラス基板搬送ロボット CR-J820CL 製品画像

        第8世代液晶ガラス基板搬送ロボット CR-J820CL

        自由自在なレイアウトを実現。

        走行軸に搭載すると、複数の装置を1台のローダーでカバーできます。 2段独立フォークユニットで、装置との取り合いを最適化できます。

      • 搬送設備 立体自動倉庫 製品画像

        搬送設備 立体自動倉庫

        コンピュータによる資材部品や製品の一元管理

        平田機工株式会社より、立体自動倉庫のご案内です。 <仕様> ・最高速度(走行) 160m/min, (昇降)40m/min ・搬送物重量 最大150kg

      • パワーモジュール 真空 リフロー炉 製品画像

        パワーモジュール 真空 リフロー炉

        フラックスを使わない鉛フリーはんだ用の真空はんだ付け装置です。

        減圧後、水素雰囲気で加熱することにより、酸化膜形成を抑制します。3種類のヒーティング方式をご用意しました。

      • 平田機工 太陽電池関連生産設備 製品画像

        平田機工 太陽電池関連生産設備

        エネルギーおよび環境の課題克服に貢献します

        他事業の経験と実績で培った技術とノウハウをベースに、 太陽電池関連の各製造工程における搬送コンベヤ、ロボット、組立装置、自動搬送システムなど、 生産全体の効率を改善するトータル管理システムをご提供しま…

      • ロードポート SMIFポッドオープナ(アーム付) 製品画像

        ロードポート SMIFポッドオープナ(アーム付)

        高クリーン、高スループット、高メンテナンス性を実現

        半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。

      • ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル) 製品画像

        ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)

        高クリーン、高スループット、高メンテナンス性を実現

        半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。

      • 減圧乾燥装置 HVDシリーズ 製品画像

        減圧乾燥装置 HVDシリーズ

        減圧乾燥により乾燥時間を短縮できます。FPD関連生産設備の必需品!

        世界のエンジニアリングメーカーHirataがご提供する、減圧乾燥装置・HVDシリーズのご紹介です。

      • スタックヒーター HSHシリーズ 製品画像

        スタックヒーター HSHシリーズ

        クリーン度を向上させた上に低価格を実現!FDP関連生産設備で活用いただけるスタックヒーター

        世界の生産エンジニアリングメーカーHirataが提供する、スタックヒーターのご紹介です。

      • ガントリーロボット GR-1750 製品画像

        ガントリーロボット GR-1750

        自由自在なストロークと軸組み合わせによる豊富なバリエーションを持つ直交型の産業用ロボット

        Hirataのコアテクノロジーであるロボット技術を活かし、多くの産業に向けた各種ロボット・制御装置を製造・販売しています。 当社のロボットは各生産設備に組み込まれ、その知能化を実現するなど、システム…

      • 平田機工社製 ソート /ストック システム 製品画像

        平田機工社製 ソート /ストック システム

        スペース効率を最大限に活用できるソート/ストックシステム

        世界の生産エンジニアリングメーカー、Hirataがご提案するソート/ストックシステムです。

      • 平田機工社製 無人搬送車(AGV) 製品画像

        平田機工社製 無人搬送車(AGV)

        さまざまな場面・状況に合わせたAGVを取り揃えております

        【仕様】 ・最高速度40m/min ・台車積載重量 小型 最大150 kg,中型 最大250 kg,大型 最大550kg

      • 平田機工社製 ロジスティックシステム 製品画像

        平田機工社製 ロジスティックシステム

        多彩なアプリケーションを準備したロジスティックシステムです。

        世界の生産エンジニアリング企業、Hirataのご提案するロジスティックシステムです。 さまざまな生産設備で活用されています(詳しくは、用途・実績例をご参照下さい)。

      • 平田機工社製 ロボット型クリーンスタッカー 製品画像

        平田機工社製 ロボット型クリーンスタッカー

        自由度の高いロボット型クリーンスタッカーです。

        世界の生産エンジニアリングメーカー、Hirataがご提案するロボット型クリーンスタッカーのご紹介です。

      • ロードポート SMIFポッドオープナ(自動開閉) 製品画像

        ロードポート SMIFポッドオープナ(自動開閉)

        上位装置による自動開閉タイプ

        上位装置へドッキングすることで、ミニエンバイロメントを実現しました。

      • ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式) 製品画像

        ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)

        高クリーン性能

        接触面積を最小限にすることでパーティクルの発生を抑制します。 【機能】 ○ 高速アライメント  非接触(センサ方式)で、オリフラタイプ・ノッチタイプに対応  アライメント時間 2秒以下…

      • ウェーハ位置決め装置 エッジグリップアライナ 製品画像

        ウェーハ位置決め装置 エッジグリップアライナ

        高クリーン性能

        ウェーハ裏面非接触で、パーティクル汚染を抑えたエッジグリップ方式を採用しています。

      • ウェーハ搬送システム ウェーハソータ 製品画像

        ウェーハ搬送システム ウェーハソータ

        高クリーン性能

        クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現しました。

      • ウェーハ搬送ロボット 大気対応 製品画像

        ウェーハ搬送ロボット 大気対応

        高クリーン性能、多段チャンバに有効

        磁性流体シール等により、パーティクルの発生を抑制しました。

      • 第6世代ガラス基板搬送ロボット CR-J620CL 製品画像

        第6世代ガラス基板搬送ロボット CR-J620CL

        自由自在なレイアウトを実現

        ラック式走行軸追加で複数の装置を1台のローダでカバーします。 2段独立フォークユニットで、装置との取り合いを最適化できます。

      • オートローダーシステム HLDシリーズ 製品画像

        オートローダーシステム HLDシリーズ

        FPD(フラットパネルディスプレイ)関連生産設備

        省スペース、カセット内側位置決め方式採用により、ポート間ピッチを縮小しました。

      • 高精度 塗布装置(ヘッドコーター) HC シリーズ 製品画像

        高精度 塗布装置(ヘッドコーター) HC シリーズ

        省資源・省エネかつ高精度な塗布装置。FPD関連生産設備の必需品!

        消費電力が小さいなど、省エネ対応になっております。

      • コーターシステム HCS シリーズ 製品画像

        コーターシステム HCS シリーズ

        カセットポートからロボットまで全てシステムに組み込み済みであるコーターシステム。FPD関連生産設備の必需品!

        各装置のハード、ソフト共にバージョンアップ対応可能。能力・仕様の変更可能など、開発から実際の生産まで展開・対応できます。

      • 自動車関連生産設備 エンジン関連設備 製品画像

        自動車関連生産設備 エンジン関連設備

        徹底した共通化によりメンテナンスフリー

        巨大なエンジン組立ラインでも、当社工場内で総合試運転を実施し、実際の動作を確認できます。ACSコンセプトをベースに構成しており、部品一つに至るまで共通化しているのでメンテナンスや保守部品の手配も容易で…

      • FA業界で実績の高いHirataのフリーフローコンベヤCV50C 製品画像

        FA業界で実績の高いHirataのフリーフローコンベヤCV50C

        過大な搬送力を抑えた、低推力で人に優しい安全なコンベヤです。

        【特長】 1.安全  ・フリーフロー方式で過剰な搬送推力発生を抑え、安全な搬送システムが構築できます。  ・駆動チェーンが露出していないため、安全。 2.テンション調整レス  ・独自構造によ…

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