エスオーエル株式会社:取扱製品・サービス一覧

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【表面うねり測定】

貼り合わせウェーハのプロセス改善に最適なうねり測定機です！ 表面うねりの測定が可能です!今まで見られなかった形状を見られます。

FlatMaster-Waferは、貼り合わせウェーハのうねり測定に最適な装置です。平面度だけでは改善できない歩留まりを、うねり測定により改善します。化合物半導体業界標準機としてご利用いただいています…

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【歩留まり改善！】

ウェーハの歩留まり改善に最適な装置です！平面度の測定領域を数値で確認可能！信頼のソフトウェアが人気の業界標準平面度測定機です。

FlatMaster-Waferは、ウェーハの歩留まり改善に最適な装置です。平面度測定時には、ウェーハ中心からφ何mmまで測定ができているか確認する必要があります。 理由は、ウェーハエッジは急激にダ…

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【粗面測定用！】

ウェーハの粗面測定に最適な装置です！アズスライス品も測定可能。 測定感度を自由に変更可能で、1台で粗面～鏡面の測定が可能です。

FlatMaster-Waferは、粗面ウェーハの測定に最適な装置です。 測定感度を3段階で変更可能なため、粗面～鏡面まで測定でき、1台で工程管理が可能です。 化合物半導体業界標準機としてご利用い…

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】

ウェーハの大きなSORI測定に最適です！約200µmのSORIまで測定可能。研究開発のお役に立てる業界標準平面度測定機です！

FlatMaster-Waferは、ウェーハ大きなSORI測定に最適な装置です。 測定感度を3段階で変更可能なため、約200µmのSORIまで測定可能です。 化合物半導体業界標準機としてご利用いた…

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【厚み測定に最適】

ウェーハの厚み測定に最適です！平面度と全面の厚みを1台で測定可能！ SiC厚み測定業界標準機としてご利用いただいています！

FlatMaster-Waferは、ウェーハ厚み測定に最適な装置です。 平面度だけではなく、厚みの測定も行うことができます。 化合物半導体業界標準機としてご利用いただいています。 ＜特長＞ …

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【透明品測定】

透明ウェーハの平面度測定に最適です！独自のソフトウェアを使用し測定します。デモ測定可能です！データを当日お持ち帰りいただけます。

FlatMaster-Waferは、透明ウェーハの平面度測定に最適な装置です。 FFT解析ソフトと呼ばれる独自のソフトウェアを使用し、透明品でも問題なく測定することが可能です。 化合物半導体業界標…

白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【粗面～鏡面測定】

粗面～鏡面ウェーハの粗さ測定に最適な装置です！ 1台で工程管理が可能！今まで諦めていた測定におすすめです。デモ測定可能です。

FM-Raは、主に半導体ウェーハの表面粗さを測定する装置です。面状態の異なるウェーハでも、段取り替えなしで続けて測定することが可能です！ ＜特長＞ ・アズスライス～ポリッシュ面を測定可能。 …

全面一括高データ密度平面度測定機【FlatMaster200】

約25万点のデータを一括で得ることが可能！三次元測定機からの買い替えに最適です。弊社実機にてデモ測定が可能です！

FlatMaster200は、全面一括平面度測定機です。 三次元測定機やライン測定機での測定に比べ、高精度に平面度を測定できます。 ＜特長＞ ・測定感度を1.5～8µm/fringeの3段階…

平面度・平行度・段差測定機『MSP』【段差のある面測定】

段差のある面の平面度・平行度を測定可能です！今まで諦めていた測定を、弊社の実機にて是非お試し下さい！データをお持ち帰り可能です！

MSPは、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、ウェーハトレイ（サセプタ）、スクロールコンプレッサー等の測…

X線CT三次元測定機【CADとの比較測定に！】

X線CTでCADとの比較測定可能！設計値からのズレをすぐに確認できます！今なら、『測定事例カタログ』プレゼント中です！

◇装置の特長 ・CADと測定データの比較ができる！ ・X線CTスキャンで形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定までできる！ ・業界最高レベルの寸法測定精度を保証！※Dakks認証取得 ・複…

X線CT三次元測定機【製品の断面測定に！】

X線CTで製品の断面寸法測定が非破壊で可能です！今なら、『測定事例カタログ』プレゼント中です！

◇装置の特長 ・製品の断面寸法測定ができる！ ・X線CTスキャンで形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定までできる！ ・業界最高レベルの寸法測定精度を保証！※Dakks認証取得 ・複合材質…

X線CT寸法測定機TomoScope　※測定事例集 進呈中！

測定事例プレゼント！非破壊での寸法測定・CAD解析が可能！自動車・医療分野での測定に最適

■こんなお悩みはありませんか？ 1．新製品の開発工程を短縮したい 2．非破壊で断面形状を測定したい 3．幾何公差を考慮した測定を行いたい Werth社の「TomoScope」は、3D CA…

測定時間でお悩みではありませんか？

測定のお悩み、TomoScopeが解決します！

こんなお悩み、ございませんか？ ・三次元測定機では測定できない箇所がある ・製品を切断せずに測定したい ・測定ポイントが多く、時間がかかる ・複合材で測定の手法がない ・CADを使った品…

高精度寸法測定X線CT装置【TomoScope S】

寸法測定精度約4.5μmを実現するX線CT装置！非破壊でワーク外側の測定はもちろん、内部形状や異物の寸法測定まで！

『TomoScope S』は、寸法測定用のX線CT技術として、DAkkSによる精度保証認定を受けた世界有数の装置です。非破壊でワーク外側の測定はもちろん、内部形状や異物の寸法測定、繊維の向きまで観察可…

寸法測定用X線CT『TomoScope』※技術ハンドブック進呈

金属、複合材の非破壊検査に！寸法精度(4.5µm)の保証可能なDAkkS認証CT装置！

『TomoScope（トモスコープ）』シリーズは、欠陥検査や内部観察はもちろん、 従来のCTでは難しかった金属や複合材ワークでも、高精度な寸法測定が可能です。 幾何公差も対応しています。 ま…

高精度寸法測定X線CT装置『TomoScope S』

寸法測定精度約4.5μm！非破壊で形状や異物の寸法まで測定。技術資料進呈

『TomoScope S』は、寸法測定用のX線CT技術として、DAkkSによる精度保証認定を受けた装置です。非破壊でワーク外側の測定はもちろん、内部形状や異物の寸法測定、繊維の向きまで観察可能。ミクロ…

TomoScope XS

高精度寸法測定X線CT装置TomoScopeの技術をコンパクトに‼

「X線CTを用いた寸法測定に興味があるが、導入費用や設置場所のハードルが高い」そんなお悩みはありませんか？ TomoScopeはドイツWerth社製の高精度寸法測定用X線CT装置です。2017年…

高精度寸法測定X線CT装置『TomoScope XS』

機能はそのままに小型・低価格化を実現した最新モデル。非破壊で形状や異物の寸法まで測定。事例＆技術資料進呈

『TomoScope XS』は、寸法測定用のX線CT技術として DAkkSによる精度保証認定を受けた最新小型モデルのX線CT装置です。 非破壊でワーク外側の測定はもちろん、内部形状の寸法測定も…

弊社のサービス内容『高精度測定機専門代理店』【親身な測定相談】

装置販売のみではなく、平面度・平坦度・平行度・粗さ・三次元測定に関するお客様のお悩みを解決します！精密測定につきご相談下さい！

エスオーエル株式会社は、高精度測定機専門代理店です。装置デモ機を複数所有し、親身な測定相談を重視しています。お客様に適した測定方法、解析項目を個別にご提案しています。 ＜特長＞ ・20年以上の…

デモ・サンプル測定とは？『実機で体験』【詳細な解説付き！】

平坦度・平面度・平行度・厚み・粗さ・X線CT寸法測定の実機で測定を体験できます！測定データは当日お持ち帰りいただきます。

デモ・サンプル測定とは、お客様の持ち込んだ測定物にて、弊社測定機の性能を確認していただくサービスです。今まで気付かなかったポイントを発見できます。 ＜特長＞ ・測定報告書やデータをお持ち帰りい…

ちょっと変わったメールマガジン配信中！【測定だけに限りません】

社員紹介や測定についての豆知識を配信中。三次元・平面度・粗さ測定の技術情報について、無料で配信しています！是非ご登録下さい！

弊社のメールマガジンは、他の企業様とは一風変わっています。平面度測定機、X線CT装置の宣伝は当然させていただきますが、弊社社員の旅行記的な内容や、測定、測定物についてのあれこれを社員6人で順番に書いて…

平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

平坦度・平面度だけでなく、段差や平行度も一度に測定！業界唯一の多機能測定機です！ウェーハから金属部品まで幅広く測定できます。

MSP150は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、ウェーハトレイ（サセプタ）、スクロールコンプレッサー…

平面度・平行度・厚み測定機『MSP300』【１台３役！】

平坦度・平面度だけでなく、段差や平行度も一度に測定！業界唯一の多機能測定機です！ウェーハから金属部品まで幅広く対応します。

MSP300は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、硝子基板等の測定に使用いただいております。品質管理、…

白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【諦めていた測定も！】

トロペル社最新の表面粗さ測定機です。ウェーハの測定に最適です！サンプルをステージにのせるだけで、面倒なセッティングは不要です！

FM-Raは、主に半導体ウェーハの表面粗さを測定する装置です。通常の白色干渉計とは逆向きにセッティングを行うので、厚みの違うウェーハでも、段取り替えなしで続けて測定することが可能です！ ＜特長＞…

平面度・平行度・段差測定機『MSP40』【１台３役！】

平坦度・平面度だけでなく、段差や平行度も一度に測定！業界唯一の多機能測定機です！ウェーハから金属部品まで幅広く測定できます。

MSP40は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、インジェクター部品等の測定に使用いただいております。品…

超高精度ウェーハ形状・厚み測定機『MSP-Wafer』【最新！】

ウェーハの膜厚・研磨量の、1µm以下の変化量を管理！プロセスの均一性評価等、研究開発に最適です。是非デモ測定にてお試し下さい！

MSP-Waferは、ウェーハの膜厚分布、研磨量分布を測定する装置で、プロセスの均一性評価に最適です。半導体ウェーハのプロセス管理でお使いいただいており、使い勝手もご好評いただいております。 ＜…

小口径部品用平面度測定機『FlatMaster40』【全面一括】

約25万点のデータを一括で得ることが可能！高精度な平面度・平坦度測定を短時間で行います。是非、デモ測定にてお試し下さい！

FlatMaster40は、小型精密部品の平面度を測定する装置です。校正原器が標準装備のため、高い信頼性をお約束します。シール部品や機械部品の品質管理に最適です。 ＜特長＞ ・米国立標準技術研…

ウェーハ平面度測定機『FM200-Wafer』【業界標準機！】

アズスライス・ラップ・ポリッシュ全工程を１台で！ウェーハの平坦度・平面度測定で大活躍！信頼のソフトウェアが人気の業界標準測定機！

FlatMaster-Waferは、工程管理・研究開発に最適なウェーハ平面度測定機です。ソフトウェアの機能が多く、目的に応じた測定を行うことが可能です。デバイスメーカー、ウェーハメーカー、研究機関様、…

フォトマスク平面度測定機『UF200Mask』【業界標準機！】

自動搬送機付きマスク用平坦度・平面度測定機です！国内外で数多くの企業様に長年ご使用いただいております。業界最高精度の測定機です！

UltraFlat200Maskは、フォトマスク専用の平面度測定機です。業界標準機であるため、世界中のフォトマスク関連の企業様にご使用いただいております。測定精度が高く、厳しい品質管理に最適の装置です…

精密部品用平面度測定機『FlatMaster200』【全面一括】

約25万点のデータを一括で得ることが可能！研究開発や工程管理に最適の平面度測定機です。是非、デモ測定にてお試し下さい。

FlatMaster200は、研削面、鏡面の平面度測定機です。測定感度を3段階で変更できるため、幅広い面状態の測定にご使用いただいております。油圧部品、シール部品の測定に最適です。 ＜特長＞ …

ウェーハ自動平面度測定機『UltraSort2』【業界標準機！】

業界標準機として歴史のある自動搬送機付きウェーハ用平坦度・平面度測定機が生まれ変わりました！

UltraSort2はサファイアウェーハなど、化合物半導体業界を中心に標準機として10年以上歴史のあるUltraSortの後継機で、ウェーハの平面度を自動で測定する干渉計タイプの装置です。ウェーハを水…

高精度寸法測定X線CT装置『TomoScope S』

寸法測定精度約4.5μmを実現するX線CT装置！三次元形状の超精密測定が可能に！【内部形状・異物の寸法・ワーク外側の測定など】

『TomoScope S』は、寸法測定用のX線CT技術として、 DAkkSによる精度保証認定を受けた世界有数の装置です。 非破壊でワーク外側の測定はもちろん、内部形状や異物の寸法測定、繊維の向きま…

X線CT三次元測定機【重金属部品の寸法測定に！】

X線CTで非破壊寸法測定！形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定まで可能です！今なら、『測定事例カタログ』プレゼント中です！

◇装置の特長 ・重金属の測定が可能！ ・X線CTスキャンで形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定までできる！ ・業界最高レベルの寸法測定精度を保証！※Dakks認証取得 ・金属だけでなく、…

X線CT三次元測定機【樹脂部品の寸法測定に！】

X線CTで非破壊寸法測定！形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定まで可能です！今なら、『測定事例カタログ』プレゼント中です！

◇装置の特長 ・X線CTスキャンで形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定までできる！ ・業界最高レベルの寸法測定精度を保証！※Dakks認証取得 ・樹脂だけでなく、金属や複合材質品でも高精度…

X線CT三次元測定機【複合素材品の寸法測定に！】

X線CTで非破壊寸法測定！形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定まで可能です！今なら、『測定事例カタログ』プレゼント中です！

◇装置の特長 ・金属と樹脂の複合素材品の測定ができる！ ・X線CTスキャンで形状測定だけでなく、寸法測定や幾何公差測定までできる！ ・業界最高レベルの寸法測定精度を保証！※Dakks認証取得 …

X線CT三次元測定機『TomoScope L』

【X線CTで非破壊寸法測定】業界初4.5μmの寸法測定精度保証。樹脂はもちろん、重金属や複合材質品も高精度に測定が可能です。

◇装置の特長 ・225kVの高出力で金属製部品の非破壊寸法測定が可能です！ ・業界最高！4.5μmの寸法測定精度を保証！実績値は2µm！※Dakks認証取得 ・金属だけでなく、樹脂や複合材質品で…

Ｘ線CT三次元測定機『TomoCheck HA』非破壊寸法測定

【X線CTで非破壊寸法測定】高精度が求められる測定に最適！世界最高レベル2.5μmの寸法測定精度を保証！是非お問合せ下さい。

◇装置の特長 ・高精度が求められる測定に最適！ ・業界最高レベル2.5μmの寸法測定精度を保証！※Dakks認証取得！ ・樹脂はもちろん、金属や複合材質品でも高精度に測定可能！ ◇◆◇◆◇…

Ｘ線CT三次元測定機『TomoScope XL』非破壊寸法測定

【X線CTで非破壊寸法測定】重金属部品の非破壊寸法測定が可能！大きめの製品測定に最適です！4.5µmの精度保証です。

◇装置の特長 ・225kVの高出力で金属製部品の非破壊寸法測定が可能です！ ・測定可能なサンプルの最大サイズは、なんと φ710mm×500mm！ 　それよりも大きいサンプルはご相談ください。 …

高精度マルチセンサー式三次元測定機『VideoCheck UA』

【マルチセンサー搭載で高精度形状測定】シリーズ最上位機種！0.001µmの分解能で高精度測定を実現！お問合わせお待ちしています。

◇装置の特長 ・接触式も非接触式も！マルチセンサー式で幅広い測定に対応 ・ベアト社独自の高精度画像処理センサーを標準搭載！ ・安定性と精度向上のためにグラナイトベースを採用！ ・エアーベアリン…

高精度マルチセンサー式三次元測定機『VideoCheck HA』

【マルチセンサー搭載・高精度形状測定】高精度測定を生産管理から製品開発まで！サブミクロン領域の測定が可能！デモ測定可能です！

◇装置の特長 ・接触式も非接触式も！マルチセンサー式で幅広い測定に対応 ・ベアト社独自の高精度画像処理センサーを標準搭載！ ・安定性と精度向上のためにグラナイトベースを採用！ ・エアーベアリン…

高精度マルチセンサー式三次元測定機『VideoCheck』

【マルチセンサー搭載で高精度形状測定】幅広い測定サイズに対応！サブミクロン領域の測定が可能！ 剛性の高いドイツ製の装置です。

◇装置の特長 ・接触式も非接触式も！マルチセンサー式で幅広い測定に対応 ・ベアト社独自の高精度画像処理センサーを標準搭載！ ・安定性と精度向上のためにグラナイトベースを採用！ ・エアーベアリン…

生産現場向けマルチセンサー式三次元測定機『ScopeCheck』

【マルチセンサー搭載で高速形状測定】生産現場からの高速測定の要求に対応します！弊社にてデモ・サンプル測定が可能です！

◇装置の特長 ・接触式も非接触式も！マルチセンサー式で幅広い測定に対応 ・ベアト社独自の高精度画像処理センサーを標準搭載！ ・安定性と精度向上のためにグラナイトベースを採用！ ・ガイド及びスケ…