真空技術、プラズマ技術、薄膜技術そして微細加工技術を用いる技術者のためのシミュレーションソフトウェア
真空/プラズマ/希薄気体及び、気体エレクトロニクス分野における物理現象を解析するソフトを自社開発/販売を志して独立した企業です。私どもでは創造力、開発力、技術力そして競争力を企業精神としております。
事業内容真空/プラズマ/希薄気体技術分野での物理現象を解析するシミュレーションソフトウェア;PEGASUS(プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール)を、自社独自で開発し販売しています。またそれに伴う技術受託解析や特殊カスタマイズ、特注ソフトウェア開発も行います。
PEGASUSは、真空中での粒子挙動、プラズマ挙動、デポジション/エッチング挙動などを解析でき、これは、半導体、ディスプレー、光学、電気、電子、ITそして環境関連産業などの分野で利用される、蒸着、CVD、スパッタ、イオンプレーティング、ドライエッチングそして表面改質などの薄膜技術の製品開発をおこなう技術者/研究者にとって
『装置の設計・開発・改良・評価』
『材料、デバイスの開発・製造』
『プロセス技術の予測・開発・改良』
の効率化、実験及び試作コストの軽減を目的とした支援シミュレーションソフトウェアとなります。
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