クリーン・搬送・制御
2009年7月 経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。
2010年6月 太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始
2011年2月 3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入
2011年7月 埼玉県より次世代産業参入支援事業受託
2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様:大型基盤用(300角)
2012年2月 埼玉県次世代産業参入支援事業終了
2012年4月 太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。
1.産業用ロボットの製造・販売。
2.半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬 送装置を含む半導体製造装置の製造販売
3.液晶用搬送装置の製造、販売
4.枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング
装置の製造、販売
5.太陽電池用シリコンウエハセパレーター
薄膜シリコンガラスエッチング
CIGS用ガラス基板洗浄装置
等の製造、販売。
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