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掲載開始:2017-08-07 00:00:00.0

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真空・不活性ガス雰囲気中で最高2800℃まで加熱可能!カスタマイズOK!

『タングステンメッシュヒーター』

イムテック株式会社

モリブデン・タングステン・タンタル・ニオブおよびカーボンなど
レアメタルの精密加工から板金・EB溶接まで行う当社では、
最高2800℃まで加熱可能な『タングステンメッシュヒーター』を製造しています。

メッシュ形状は、タングステンワイヤーをコイル状に編んであるもので、
板ヒーターなどと比較して発熱面積を広く取れ、高効率な加熱ができます。
必要に応じて、設計・製作および改造も承ります。

【主な取扱い品目】
■真空メタル炉のホットゾーン設計・改造および製作
■モリブデン・タングステン・タンタル・ニオブなどレアメタルの精密加工
■真空部品全般加工品
■ガスケットフランジ
■真空蒸着源全般

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

 

ヒータは1500℃、静電チャックは常温から高温まで対応!高真空や高温の腐食性ガス雰囲気中で優れた性能を発揮します。

真空用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社

真空および半導体製造プロセスでセラミックスに要求される高純度、耐熱特性。
これらの要求をクリアしながら軽量コンパクトと設計の自由度を両立できる材質選びでは、何らかの特性を犠牲にするしかありませんでした。

モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのCVD技術によるヒータ、静電チャックは軽量コンパクトで設計の自由度も大きく、
他製品では実現が難しい急速昇降温・超高温を容易に実現できます。

また、このCVD技術は高温真空蒸着・結晶成長・高温焼成などの容器、高温電気絶縁部品などにも使用されており、
グラファイトを高温の腐食性雰囲気から保護するコーティングなどでも真空プロセスの改善に貢献します。

ただいま、真空成膜用機能部品の用途や特徴を記載したカタログをプレゼント中!
この機会にPDFをダウンロードしてご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

 

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