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掲載開始:2019年05月20日

半導体成膜工程の反応を正確かつ迅速に、リアルタイムでモニタリングが可能!【※オンサイト デモ歓迎!】

半導体製造工程を効率化する質量分析計 『infiTOF』

株式会社カノマックスコーポレーション

近年、集積度の向上に伴い、プロセスガス種類の増加ならびに緻密な制御が必要とされ、工程が複雑化しています。以前は問題にならなかった反応のメカニズム、たとえば、微量の不純物、副生成物が近年は問題視されるようになってきました。

予期せぬ物質の生成、ぼんやりしていた物質、反応の不安定要因を、高分解能によって精度良くモニタリングできるのが、質量分析計『infiTOF』です。

【特徴】
■ 歩留まり改善
■ プロセス時間の短縮
■ リアルタイム
■ コンパクト=モニタリングしたい箇所に直接接続可能 
■ 可搬性

※本製品ユーザーである名古屋大学 天野研究室とMSI.TOKYO株式会社が実施した 実験に関する技術資料をPDFダウンロードいただけます。
※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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