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掲載開始:2019年12月16日

  • 赤外分光分析システム

    500nm以下の空間分解能で、微小異物の分析を実現する赤外分光分析システム

    株式会社日本サーマル・コンサルティング

    基板上の異物の成分を調べる際によく用いられる赤外分光分析。ただ、非常に微小な物質の検出には、より高い空間分解能が必要になることも。

    日本サーマル・コンサルティングが取り扱う『ミラージュ』は500nm以下の空間分解能を持つ赤外分光分析システムです。毎秒1スペクトルの高速スキャンが可能で、IRデータべースの検索にも対応。また、試料の薄片化が不要で分析時間も短縮できます。

  • 半導体製造装置 課題解決事例

    チップの持ち帰り不良やひび割れを低減!治具の見直しによる課題解決事例集を進呈

    有限会社オルテコーポレーション

    半導体チップの歩留まりでお困りではありませんか?「引っ掻きキズやひび割れの発生」「持ち帰りエラーの発生」など、様々な悩みを耳にします。

    オルテコーポレーションは、低粘着性ゴムコレットなど半導体製造装置用治具の製作を手掛けています。現在、同社の『課題解決事例集』を進呈中。持ち帰り不良の低減や、傷・ひび割れの抑制など、同社の治具で歩留まりを改善した事例が掲載されています。

  • 外観検査装置

    欠陥不良と膜厚検査を1回のスキャニングで全数検査!カスタマイズもOK

    株式会社サトウプロダクト

    サトウプロダクトの『PRESTIGE II』は、インプロセスや品質保証で使われることを念頭に開発された半導体ウェハ向け外観検査装置です。

    微細な欠陥やムラの検出が可能なほか、セミ・オートレシピ作成機能も追加されており使い勝手に優れます。人力で行っていた外観検査を全数検査し、アラートの発報と全ての結果をデータで保存。GEM300にも対応が可能で、リアルタイムで前工程等への情報共有ができます。

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