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掲載開始:2021年11月15日

  • リフトオフ装置

    20MPaの高圧ジェットで頑固なレジストも迅速除去。高剥離力のリフトオフ装置

    株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

    半導体製造プロセスにおけるレジスト剥離工程では、プラズマや熱の影響でレジストが除去しにくい場合があります。

    エイ・エス・エイ・ピイの『リフトオフ装置』は最高20MPaの高圧ジェット洗浄と高速枚葉スピン処理により、プラズマ処理や熱処理後のレジストをキレイに除去。薄いウエハでも割れる心配がなく、バリやメタルの再付着も防止できます。オプションの利用により、薬液のリサイクルも可能です。

  • 切削用樹脂材料

    切削用樹脂材料を豊富に用意。半導体製造プロセスで活躍する各種製品に多数採用

    クレハエクストロン株式会社

    半導体製造工程で活用される樹脂部品・製品。過酷な環境下で使うケースも多く、用途に合った材料選定が求められます。

    クレハエクストロンでは、半導体の生産に役立つ『切削用樹脂材料』を豊富に取り揃えています。優れた耐薬品性や耐熱性をもつ「PPS」、CMPプロセス等で採用実績のある「PPS-TUBE」、ESD対策に貢献する「クレファイン」などをラインアップ。現在、総合カタログを進呈中です。

  • 工程管理用製品

    真空装置内の状態、環境のクリーン度、ウエハの温度等、各種管理に役立つ製品が多数

    JFE商事エレクトロニクス株式会社

    半導体の製造プロセスでは、品質や歩留りの低下を引き起こす様々な要因の的確な監視・把握が欠かせません。

    JFE商事エレクトロニクスは半導体製造の工程管理に役立つ製品を幅広く取り扱っています。真空装置内の状態監視や、環境のクリーン度の測定、装置内の発塵源の特定、純水・薬液中の微粒子の測定、ウエハの温度状態の計測、圧縮空気の漏れの検出など、様々な監視・把握が行える製品を選択可能です。

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  • 半導体製造装置
  • 超音波液体粘度計
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • ドライエッチング装置
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