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掲載開始:2022年09月12日

  • 真空構造材

    ガス放出量を大幅に低減するベリリウム銅の真空構造材。極高・超高真空環境下で活躍

    東京電子株式会社

    高い真空度を実現する上で障壁となる、ガス放出。チャンバー等の真空用材料にはガス放出量の少ない素材が求められます。

    東京電子は『0.2%BeCu合金製の真空構造材』を取り扱っています。銅の熱伝導率の高さ、熱輻射率の低さを活かし、壁面の温度上昇を抑えてガス放出を防止。チャンバーのほか、ニップル、キューブがあり、極高真空・超高真空が必要な場面で活躍します。現在、素材や製品の解説資料を進呈中です。

  • 真空ポンプユニット

    真空ポンプと周辺機器をユニット化。導入が容易な液封式真空ポンプ。動画公開中

    株式会社ニクニ

    水蒸気を含む気体や可燃性ガスの移送で活躍する、液封式真空ポンプ。導入の際は、周辺機器の選定や設計、組み立て等にかかる工数をいかに減らすかが課題となります。

    ニクニの『UNIVAS』は液封式真空ポンプとタンク・計器類などをユニット化し、設置の工数とスペースを削減する製品。部品同士が接触しない内部構造で、ガスの外部流出が防げます。ガスエゼクターやチラーなど、オプションも豊富です。

  • 金属・ガラス接合技術

    金属・ガラスの接合部品を1個から安定供給。基礎知識や加工事例を紹介した資料進呈

    富士通特機コンポーネント株式会社

    気密性が求められる絶縁端子やのぞき窓などの真空装置部品。その製作ではガラスや金属材料同士の接合技術も重要です。

    富士通特機コンポーネントは、真空装置向けの金属とガラス、異種金属同士、異種ガラス同士の接合技術を提供しています。直接接合や中間ガラスを用いた段継ぎ接合、ろう付け・Tig溶接を駆使して要望に合った接合部品を製作可能。現在、「絶縁端子」などの事例を掲載した資料を進呈中です。

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