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掲載開始:2022年11月14日

  • 風速計

    乾燥、塗布等の各種工程でのエア管理に。防爆・高温・腐食環境対応の風速センサ

    セントロニック株式会社

    製造工程での風速や流量、クリーンルーム内の層流などを適正に管理するには、ニーズに応じたセンサの選定が必要です。

    セントロニックでは『風速センサ』を豊富にラインアップしており、高温・腐食性ガス環境での使用など幅広い用途に対応。センサを付け替え可能なハンディタイプの風速計なども用意しており、半導体やフィルム製造工程など多様な現場で採用されています。現在、事例集やカタログセットを進呈中です。

  • 高温ヒーター・耐熱衝撃セラミックス

    SiC・GaN製パワー半導体製造プロセスで活躍する高温ヒーターなどを提供

    モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

    高度化が進む半導体製造プロセスでは、過酷な環境にも耐え得る信頼性の高いヒーターや静電チャックなどが欠かせません。

    モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパンは、絶縁性や熱伝導性に優れたBNセラミックス「PBN」等を利用した『半導体製造用高温ヒーター』『静電チャック』などを提供しています。12インチの大型ウエハにも対応可能。超高真空下や1700℃の超高温下でも使用でき、高い耐腐食性も備えています。

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