• 風速センサ

  

  各種生産工場で採用実績多数。防爆仕様の風速センサ。活用例を掲載した事例集進呈

  セントロニック株式会社

  可燃性ガスや腐食性ガスを使用する半導体製造工程において、換気・排気口の風速管理を適切に行うには、防爆エリアなどの環境でも安定して安全に使用できる計器が不可欠です。
  
  セントロニックはヘンツ社製の『防爆風速センサ』を幅広く取り扱っています。爆発性・腐食性ガスや高温環境下に対応した製品など、様々なセンサを用意。半導体・燃料電池・フィルム工場や洗浄・塗布・乾燥工程の現場など実績も豊富です。

• シール・スプリング

  

  １００％カスタム対応。スプリング式メカニカルシールと斜め巻コイルスプリング

  株式会社栄電子

  半導体製造装置に組み込むシールやスプリングは、真空や高圧下でも変形・ガス化しない高い耐久性が必要とされます。
  
  栄電子は、高いシール性と低摩耗性のバルシールエンジニアリング社製『スプリング式メカニカルシール』を取り扱っています。ＥＭＩ対策や機械的締結（ラッチ・ロック・保持）、小型大電流の導通にも対応した『斜め巻コイルスプリング』も提供。同社は来月、ＳＥＭＩＣＯＮ　ＪＡＰＡＮに出展します。