製造業の技術解説や英語などを掲載した、製造業エンジニア向けの技術用語集です。
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オススメ用語解説
概要
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リーク試験装置とは、真空装置の微小な穴やシール不良などに起因する外部からの流入であるリーク(漏れ)を測定する、リーク試験(リークテスト)を行う装置である。リーク試験は、対象とする真空装置によって許容値が異なるため、試験の方法やリーク試験装置も異なる。リーク試験の種類としては、気泡により検知を行う加圧発泡法や圧力上昇により検知する真空放置法、質量分析からヘリウムの検知を行うヘリウムリークテストなどがある。
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