製造業技術用語集

製造業の技術解説や英語などを掲載した、製造業エンジニア向けの技術用語集です。

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STI(Shallow Tre・・・フッ素グリースシリンダブラケットボイラノイズハプティック技術オイルミストコレクタ粉砕機押出成形機次世代エレベーター

概要	STI(Shallow Trench Isolation、シャロートレンチアイソレーション)とは、半導体製造工程における素子分離法の一つ。シリコン(Si)基板上に浅い溝を形成した後、酸化膜(SiO2)などの絶縁物で埋め戻して素子分離領域を形成する。具体的には、Si基板に薄いSiO2を形成。さらに窒化膜(Si3N4)などをマスキングし、エッチングでSi基板に浅い溝を形成。エッチング部分に酸化膜を形成し、それを絶縁分離膜として用いる(埋め込み酸化膜とも呼ばれる)。 STIはLOCOSに比べて横方向へ広がりがなく、微細化が可能。・・・続きを読む