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製造業技術用語集

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アッシャー

よみ アッシャー
英 Asher
概要 アッシャーとは、エッチングの後、不要となったレジストにプラズマ等を照射して反応させて気相中で分解・除去するレジスト剥離(アッシング)装置のこと。オゾンやガス等のガスを導入したアッシング室内で、紫外線等の光を照射してガスとレジストの化学反応を使ってレジスト剥離をする光励起アッシング装置と、ガスを高周波等でプラズマ化し、そのプラズマを利用してレジストを剥離するプラズマアッシング装置の2つに大別される。

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