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アッシング

よみ アッシング
英 Ashing
概要 アッシングとは、エッチングの後、不要となったフォトレジストをプラズマなどで反応させて気相中で分解・除去するレジスト剥離のこと。またその装置をアッシャー(レジスト剥離装置)と呼ぶ。
オゾンやガス等のガスを導入したアッシング室内で、紫外線等の光を照射してガスとレジストの化学反応を使っレジスト剥離をする光励起アッシングと、ガスを高周波等でプラズマ化し、そのプラズマを利用してレジストを剥離するプラズマアッシングの2つに大別される。

アッシングといえばこの会社

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置(RIE/DP切替え可)、枚葉式多目...
【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの  総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸...
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