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製造業技術用語集

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アッシング

ヨミ
アッシング
Ashing
概要
アッシングとは、エッチングの後、不要となったフォトレジストをプラズマなどで反応させて気相中で分解・除去するレジスト剥離のこと。またその装置をアッシャー(レジスト剥離装置)と呼ぶ。
オゾンやガス等のガスを導入したアッシング室内で、紫外線等の光を照射してガスとレジストの化学反応を使っレジスト剥離をする光励起アッシングと、ガスを高周波等でプラズマ化し、そのプラズマを利用してレジストを剥離するプラズマアッシングの2つに大別される。

アッシングといえばこの会社

【主要生産品目】 ゼロバックラッシ精密減速機/FA用サーボ減速機。 間欠割り出し装置/インデックスカムユニット。 ...
事業内容 マクロ・テクノロジー事業 国内電気メーカーから屋内用樹脂絶縁材料として認定を得ている熱硬化性エポキシ樹脂複...
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