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製造業技術用語集

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インクジェット塗布装置

よみ インクジェットトフソウチ
英 ink-jet coating applicator
概要 インクジェット塗布装置とは、インクジェットプリンタと同じ方式でインク(材料)を液滴として飛ばして塗布する装置のこと。微少量を塗布でき、材料のロスが少ないのが特長だが、材料の安定性やノズルの目詰り防止がポイントとなる。基板のプリント配線、半導体ウェハのコーティング、液晶パネルのセルのポリイミド塗布など、従来の塗布方法を代替する形で使用範囲が拡大している。

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