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製造業技術用語集

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オゾン水製造装置

よみ オゾンスイセイゾウソウチ
英 ozone water purifying apparatus
概要 洗浄・殺菌などに効果を持つオゾン水を製造する装置のこと。水にオゾンガスを溶解する方法の他、水中に含まれる酸素を電気分解して製造する方法などがある。半導体ウエハーの洗浄や基板洗浄、レジスト剥離などに使用される。

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