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製造業技術用語集

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マイクロプラズマイオン化素子

よみ マイクロプラズマイオンカソシ
英 microplasma ionization device
概要 マイクロプラズマイオン化素子とは、静電気除去のためのイオナイザ用で、特殊誘電体と鋸状微細電極によりプラズマを高密度に発生する素子のこと。従来の放電針によるコロナ放電に比べると、電極面がフラットで、低い電圧でも面状に均一な高濃度イオンを発生できるという特長がある。そのため、送風によるイオンの撹拌が不要で、近接でもムラなく除電できる。小型化が可能で、針のクリーニングや交換といったメンテナンスも不要である。

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