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製造業技術用語集

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ミニエンバイロメント

よみ ミニエンバイロメント
英 mini-environment
概要 クリーンルーム方式の一つ。周囲の清浄度より著しく高い局所的清浄環境を設置する方式で、小さな空間内を清浄にすることにより低コストで清浄度を保つ。全域を高清浄域にするダウンフロー方式からミニエンバイロメント方式へと移行が進んでいる。
規格としてSMIF(Standard Mechanical Interface)-Pod や FOUP(Front-Opening Unified Pod)がある。

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