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製造業技術用語集

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真空チャンバ

よみ シンクウチャンバ
英 vacuum chamber
概要 真空チャンバとは、大気圧よりも低い気圧で安定した密閉空間のこと。真空容器や真空ベッセルも同義であるが、真空チャンバの場合はある程度の大きさ・容量があり、内部で製品加工、計測などの作業が真空状態で行えるものを指す。
材質はSUS304/316、アルミなどで、チタンを用いることもある。必要な真空度やコンタミにより、材質の選択、内部の表面処理、付属の機構(ガス配管真空コネクタ電流導入端子など)が必要となる。

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真空装置及び関連機器の設計から製作、製造及び現地搬入設置、メンテナンスまで一貫したサービスを提供しています。排気装置、真...
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