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製造業技術用語集

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真空機器

よみ シンクウキキ
英 vacuum device
概要 真空機器とは、真空状態をつくり、維持するための機器・部品類の総称。気密性に優れ、ガスの放出などがなく、真空や高温・低温という過酷な環境に耐える特性をもち、場合によっては特殊な薬剤や化学物質にも侵されない必要がある。
真空チャンバ真空ポンプ(油回転ポンプ、ルーツポンプ、拡散ポンプ、ドライポンプ、分子ポンプ、ソープションポンプ、ゲッタイオンポンプ、クライオポンプなど)、計測器(真空計、リークディテクタ、リークテスタなど)と、真空バルブ、フランジ、継手電流導入端子真空コネクタ、直線・回転導入機などの部品類がある。

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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆...
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