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製造業技術用語集

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薄膜熱電対

よみ ハクマク(ウスマク)ネツデンツイ
英 thin-film thermocouple
概要 薄膜熱電対とは、温度センサの一種で、通常の熱電対が細い異種金属線を溶接して測温接点をつくるのに対し、真空蒸着などの薄膜技術で作成した熱電対のこと。総厚さ100μm程度またはそれ以下と薄型で、狭い隙間や屈曲面に貼付けの測温が可能である。熱容量が小さいため応答性が速く、温度変化の激しい箇所や微小な熱を検知できる。

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