液晶ガラス基板を高く浮上させて搬送するエアー浮上搬送装置

　浮上搬送装置「ハイフロータ](Pat.P)は、噴出空気流によりに形成されたクッション室に定圧力域を生成し、圧力室式エアクッション作用によりシートを高く浮上させます。
　従来の空気浮上搬送装置は、加圧空気を噴出させるため、電力消費量が大きいという問題点があり、また浮上高さが、１ｍｍ未満であるため、装置間の渡りにおいて僅かな間隙で装置にシートが接触する恐れがあります。
　「ハイフロータ」は、シートを高く浮上することが可能であり。また低圧空気を使用するので電気消費量が少なく経済的です。
◎適応
・大型液晶ガラス基板の搬送
・太陽電池の搬送
・フィルムの搬送
・レーザ表面欠陥検査装置
・カメラ表面欠陥検査装置
・抵抗率測定装置
・センサーによる表面欠陥検査装置