50μm超薄ガラスを損傷することなく非接触にて搬送する「50μm超薄ガラス非接触搬送装置」

「50μm超薄型ガラス非接触搬送装置」の非接触吸引機構は、空気を噴出させることにより、50μm超薄型ガラスを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接50μm超薄型ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。　高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません。
　このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。