株式会社昭和真空
- 開催地：京都府
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(第13回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議)の併設のパネル展示コーナーにて、ALD装置とGCIB装置を紹介します。
| 開催日時 |
2015年07月08日（水） ～ 2015年07月10日（金） |
|---|---|
| 会場 | 京都リサーチパーク |
| 参加費 |
有料 |
取扱会社
【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの 総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、 ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、 脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、 IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他
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