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最終更新日:2019-01-28 01:19:12.0

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掲載開始日:2019-01-28 00:00:00.0

★研究開発用超高温実験炉シリーズ」製品ダイジェスト★

研究開発用超高温実験炉シリーズ 製品ダイジェスト

  • 研究開発用超高温実験炉シリーズ 製品ダイジェスト

『新材料開発・ウエハー高温アニールなど研究開発に寄与する小型超高温カーボン実験炉』
※【MiniLab-WCCF 超高温クリーン炉 Max1400℃】を追加しました。

⑴ MiniLab-CF/MF Max2900℃(るつぼ焼成用)
⑵ MiniLab-WCF/WMF Max2200℃(ウエハー焼成用)
⑶ MiniLab-VF Max800℃(バッチ式 縦型実験炉)
⑷ MiniLab-WCCF Max1400℃(超高温クリーン炉)
◉ ご要望に応じ特注装置も承ります。当社までご用命下さい。

関連情報

超高温実験炉シリーズ、基板加熱ヒーター等の熱応用製品

関連製品

◉MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハー焼成炉2200℃詳細

◉MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハー焼成炉2200℃  製品画像

2inch〜8inchウエハー高温焼成専用機 コンパクトサイズ・簡単操作 2200℃まで急速昇温!

◉Max2200℃(真空中1x10-5Torr, N2, Ar) ◉WCF使用雰囲気:真空・不活性ガス(カーボン炉) ◉WMF使用雰囲気:真空・不活性・還元ガス(メタル炉) ◉試料台サイズφ2inch〜φ8inch ◉特注ウエハーホルダ(ウエハートレー)製作可能 ◉SiC・GaNデバイス基礎研究、新素材・新材料開発、及びその他先端基礎技術開発部門で活用いただけます。

MiniLab-CF/MF 超高温小型実験炉Max2900℃詳細

MiniLab-CF/MF 超高温小型実験炉Max2900℃  製品画像

簡単操作コンパクトラックに全てを収納 短時間でMax2900℃まで昇温可能!

Max2900℃(カーボン炉)、Max2600℃(メタル炉) ・有効加熱エリアΦ60(MiniLab-CF/MF-M) ・有効加熱エリアΦ150(MiniLab-CF/MF-L) 新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応。

【Mini-BENCH 】超高温小型卓上実験炉 Max2200℃詳細

【Mini-BENCH 】超高温小型卓上実験炉 Max2200℃ 製品画像

卓上サイズカーボン実験炉・省スペース 最高使用温度2200℃(短時間)2000℃(連続) 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。

◉ 卓上サイズ 省スペース:328(W) x 220(D) x 250(H)mm ◉ るつぼ内サンプル焼成用(るつぼΦ50 x 100), 又はΦ1", Φ2"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ 簡単メンテナンス:炉内部品交換が容易 ◉ シンプルな構成、メンテナンス性に優れる超高温小型実験炉 実験室での小片試料の…

◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆詳細

◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆ 製品画像

ローコスト 必要最小構成(手動制御)管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能

小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉 大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉 【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験:縦型管状炉・酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験

【セラミック・トップ・ヒーターMax1800℃】1〜12inch詳細

【セラミック・トップ・ヒーターMax1800℃】1〜12inch 製品画像

超高温Max1800℃。 あらゆるプロセス環境に対応可能な基板加熱ヒーター

基板加熱ヒーター (窒化アルミプレート)Max 1800℃ 対応可能サイズ 1〜12inch用、及び最大φ800まで ヒーターエレメント:NiCr線(標準)、トッププレート材質:AlN(窒化アルミ)を採用した超高温・加熱効率に優れた成膜実験・製造装置用超高温基板加熱ヒーター(真空ホットプレート)です。(詳細はカタログダウンロードからお問合せ下さい。) プロセス条件により、多種類のヒーター…

【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置詳細

【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置 製品画像

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。

MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用…

【MiniLab-M307】ローコストベルジャー式真空蒸着装置詳細

【MiniLab-M307】ローコストベルジャー式真空蒸着装置 製品画像

ローコスト・ハイスペック。高品質蒸着膜を低価格装置で実現

低コスト版ベルジャー式真空蒸着装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大3 ・カーボン蒸着源 x 1(オプション) ・2inchマグネトロンスパッタ x 1(オプション)

□■□【MiniLab-026】R&D用小型真空蒸着装置□■□詳細

□■□【MiniLab-026】R&D用小型真空蒸着装置□■□ 製品画像

小型、省スペース! 研究開発に最適 基礎研究開発専用、抵抗加熱蒸着装置 グローブボックス連結仕様へのアップグレード可能

モジュラー組立式「Plug&Play」感覚で、必要なモジュール、コントローラ、コンポーネントを組合せて接続することにより構成される装置です。「MiniLabシリーズ」は、製作範囲が広く、抵抗加熱式蒸着(標準)、EB蒸着、スパッタなどご要望に対してフレキシブルにシステム構成することができるフルカスタムメイド装置です。 MiniLab-026は、シリーズ最小構成の抵抗加熱蒸着専用機です。オプ…

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃詳細

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CVD, PVD(蒸着, スパッタ, PLD, ALD等)均熱性・再現性に優れた高真空 超高温ウエハー加熱用ホットプレート

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN(インコネルプレート):φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN(BNプレート, Moカバー):φ1.0〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃…

【Nanofurnace】BWS-NANO 卓上型熱CVD装置詳細

【Nanofurnace】BWS-NANO 卓上型熱CVD装置 製品画像

多目的に使える、高精度プロセスコントロール【ホットウオール式熱CVD装置】

◉ グラフェン, カーボンナノチューブ ◉ ZnOナノワイヤ ◉ SiO2等の絶縁膜など その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応

【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃詳細

【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃ 製品画像

超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全てが1台で可能! 'All-In-One'コンポーネント

半導体、電子基板、真空薄膜プロセス装置・研究開発用【超高温基板加熱機構】 対応基板サイズ:2〜12inch 真空(UHV対応可能)・不活性ガス・O2・各種プロセス反応性ガス雰囲気等でご仕様いただけます。(詳細別途協議)

【nanoPVD-S10A】卓上型マグネトロンスパッタリング装置詳細

【nanoPVD-S10A】卓上型マグネトロンスパッタリング装置 製品画像

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式卓上サイズスパッタリング装置

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa(*1x10-4Paまで最速30分!) ● スパッタ源 x 3:連続自動成膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション:上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ● Windows PCにUSB接続 ログ保存、プログラムアップロード ◉ nanoPVDは、最大スパッ…

◆nanoPVD-T15A◆ 卓上型高性能真空蒸着装置詳細

◆nanoPVD-T15A◆ 卓上型高性能真空蒸着装置 製品画像

限られたラボスペースを有効活用できる小型卓上ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。

卓上小型サイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 USBケーブルでWindows PCに接続し、ログを保存、自動成膜レシピを作成保存。 限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができ…

【nanoCVD】卓上型グラフェン/CNT合成装置詳細

【nanoCVD】卓上型グラフェン/CNT合成装置 製品画像

◉ 大型製造装置設備を使わず、簡単にグラフェン・CNT(SWNT)合成実験が可能 ◉ 1バッチわずか30分!

◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温:RT→1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー詳細

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー 製品画像

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0…

【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー詳細

【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー 製品画像

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特…

【FiberMini】ファイバー式赤外線放射温度センサー詳細

【FiberMini】ファイバー式赤外線放射温度センサー 製品画像

光ファイバー式放射温度センサ ・測定範囲250℃〜2000℃ ・センサ耐熱200℃ ・タッチパネル/データロガーで簡単設定

● センサ内部に電子機器や導電性部品を持たないファイバー方式の為、電磁界の影響を受けません。 ● 短波長2.0〜2.6um 低放射率の金属表面温度測定などにも最適。 ● 高周波やマイクロ波、強磁場、高電圧環境下で使用可能。 ● 小型センシングヘッド(Φ10mm)により、狭い場所、直接覗き込めない場所などでの温度測定が可能。 ● センシングヘッド部耐熱200℃ 冷却無しで200℃までの高温環…

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー詳細

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー 製品画像

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

【PyroUSB】 (パイロUSB)高精度赤外線温度センサー詳細

【PyroUSB】 (パイロUSB)高精度赤外線温度センサー 製品画像

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 PU2.2モデルは、金属ローラ等の低放射率対象物も測定可能

【概要】 標準付属の「Calexsoft」とUSBケーブルでWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎…

【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー詳細

【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー 製品画像

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアーム…

【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー詳細

【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー 製品画像

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション)…

関連カタログ

取扱会社

テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター(1〜12inch) 2. R&D用真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空用熱電対 6. 真空コンポーネント

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