株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) ロゴ株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)新本社

最終更新日:2018-04-03 12:45:25.0

  • 製品ニュース
  •  

掲載開始日:2018-04-03 00:00:00.0

2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(製品・技術開発部門受賞)ファリバス 開発者7名受賞

液体材料気化供給システム(ファリバス/FALVS)

  • 液体材料気化供給システム(ファリバス/FALVS)

2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(製品・技術開発部門受賞)ファリバス 開発者7名受賞
2015年 第12回 超モノづくり部品大賞(奨励賞)受賞製品
2011年 第6回 モノづくり連携大賞(特別賞)受賞対象製品

フジキンの液体材料気化供給システム「ファリバス」の開発者7名(2017年度第7回ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(受賞) [製品・技術開発部門]は、半導体の成膜工程において、原料である液体有機金属をヘリウム(以下 Heと記載します)などのキャリアガスを使わずに直接気化(ガス化)、圧力変動を精密にコントロールし、一定量をシリコンウエハー上に供給して薄膜を形成する世界初のシステムを開発。キャリアガスにより希釈する従来方式と比べ、生産性が大幅に向上(100%濃度での大流量供給、運用コスト低減、プロセス時間短縮、システム小型化)、ウエハーの大口径化や回路の高集積化等、次世代半導体の製造に貢献。

関連リンク

2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(製品・技術開発部門受賞)ファリバス® 開発者7名受賞
2015年 第12回 超モノづくり部品大賞(奨励賞)受賞製品
2011年 第6回 モノづくり連携大賞(特別賞)受賞対象製品

取扱会社

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

<半導体製造装置用超精密バルブ機器> 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 <宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器> フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。

2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(製品・技術開発部門受賞)ファリバス 開発者7名受賞へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須

添付資料

お問い合わせ内容必須

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

新着ニュース一覧」の情報を見る


成功事例