掲載開始日：2018-04-11 00:00:00.0

技術情報「有機多層膜のラマン3Dマッピング」ほか3件を公開

MSTホームページにて、下記分析事例3件を公開しました。
・有機多層膜のラマン3Dマッピング
・ウエハ表面の金属・有機物汚染評価
・Ramanによる金属部材上の異物分析

詳細はMSTホームページをご覧ください。
http://www.mst.or.jp/

【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング

【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング製品画像

表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です

ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていることが分かりました。また、ライブラリデータとの照合により、各層の成分が同定できました。

【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価

【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価製品画像

複数手法の分析結果より、複合的に評価

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に付着した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、GC…

【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析製品画像

微小領域を狙った測定が可能

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在…

取扱会社

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。

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