株式会社日立ハイテク
- 開催地：東京都
東京ビッグサイトにて開催される「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」に出展します。
日立ハイテク展示ブースへのご来場をお待ちしております。
当日は光焼成装置を実機実演展示します。
■会期情報
開催日：2020年1月29日（水）～ 2020年1月31日（金） 10:00～17:00
会場：〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1 東京ビッグサイト
小間番号：西２ホール NO.２WーT０６
■出展製品情報
新製品 R&D用イオンミリング装置 等を出展します。
・1チャンバーでスパッタ・熱蒸着EBの成膜が可能なR&D用PVD装置
・光焼成により下地ダメージレスで焼結が可能 特殊ポーリング装置で圧電膜の分極が可能
・新型イオンミリング装置（R&D向けに特化）
是非、ブースまでお越しください！
| 開催日時 |
2020年01月29日（水） ～ 2020年01月31日（金） 10:00 ～ 17:00 |
|---|---|
| 会場 | 〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1 東京ビッグサイト 小間番号：西２ホール NO.２WーT０６ |
| 参加費 |
有料 入場料 3,000円（税込）※事前に来場登録した場合は無料になります。 |
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