2020年もよろしくお願い致します

高温高強度だからできることがあります！長尺品(～3200mm)が対応可能！

当製品は優れた耐薬品・耐腐食性をもつ長尺ローラー・チューブです。 当製品にも使用されている「CERASIC常圧焼結SiCセラミックス」は、 機械的特性、摩耗特性、腐食ガス及び薬品などに対する耐食性が 非常に優れたセラミック材料です。 そのため、金属材料が使用されている熱処理分野において幅広く 利用されており、ライフの延長によるランニングコストの低減、 産業廃棄物低減などのメリッ…

1400°C以上でも強度劣化がなく、安定して使用することが可能

『CERASIC-B』は、金属製では使用できない1400°C以上の高温域でも 強度劣化がなく安定して使用することが可能な、常圧焼結SiCセラミックスです。 これによりセラミックラジアントバーナー用チューブや 熱電対用保護管などがあります。 セラミック材料の中では最大クラスといえる1mを超える大型サイズ (プレート：1m角以上、チューブ：長さ2m以上)の製品が対応可能です。 …

圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用

『CEPURE』インライン・ガスフィルターに採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特長】 ■ 優れたガス置換特性…

【１本から対応可能】粗引き時のダスト舞上がり防止を実現し、粗引き時間の短縮に貢献！実験例もカタログに掲載中！

真空チャンパーの排気ライン中に取り付けることにより、パーティクル低減やスループット向上に優れた効果を発揮します。 【特長】 ■粗引き時のダスト舞上がり防止を実現 ■従来のスロー粗引きシステムと比べて、粗引き時間の短縮が可能 ■粗引きラインが1ラインのみの装置でもご使用頂ける"可変型"の他、 　スロー粗引きラインを有する装置でご使用頂ける"チューブ型�…

【１本から対応可能】真空装置のパーティクル低減・スループットの向上を可能にし、多彩なラインナップでお客様のニーズにお応えします！

『ブレイクフィルター』は、セラミック多孔体のもつ微細な細孔を利用した真空破壊用ディフューザーです。 真空チャンバーのベントポートに取り付けることにより、ダスト低減やスループット向上に優れた効果を発揮します！ 【特長】 ■ガスの流速が低減されて均一に拡散し、ダストの舞い上がりを防止 ■ダスト舞い上がり防止機能が優れており、大流量でベントすることが可能 ■多彩なラインアップ ※…

高温での使用が可能で1350℃まで対応可能！主要装置メーカーの認定を取得しており、パーティクル発生を抑制します。

高純度で高温での使用も可能なウェハボートです。 主要装置メーカーの認定を取得しており、パーティクル発生を抑制します。 【特長】 ■ 高純度 ■ 高温での使用が可能（～1350℃） ■ パーティクル発生を抑制 ■ 主要装置メーカーの認定を取得 ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください

高温に強く、ヒートショックに耐えるクリアーカーボン！ウェーハの温度分布を均一に制御！

金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック株式会社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。 高温に強く、ヒートショックに耐える製品で、ウェーハの温度分布を均一に制御もできます。 【特長】 ■ 高純度 ■ ウェーハの温度分布を均一に制御 ■ 優れた高温耐久性 ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡くだ…

使用時のパーティクル発生リスクが非常に低い、高純度のシリコンサセプター。最大φ510mmまで対応可能！

使用時のパーティクル発生リスクが非常に低い、高純度のシリコンサセプターです。 表面ダメージを酸エッチングにより除去しており、大型品にも対応可能！ 【特長】 ■ 高純度 ■ 表面ダメージを酸エッチングにより除去 ■ 使用時のパーティクル発生リスクが非常に低い ■ 大型品が可能（～φ510mm） ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください

樹脂部品の溶着、ガラスの加熱に好適なカーボンヒーター

クアーズテック株式会社（旧コバレントマテリアル）が開発したQCHーHEATER（Quartz Carbon Hybrid-HEATER）は、非接触加熱方式を採用した従来にないカーボンヒーターです。ヒーターの放射輝度ピークは、中赤外線領域にあるため、ガラス系、樹脂系の加熱に最適です。 【特長】 １自由な形状設計 　・発熱部の形状を自由に設計できます。 　・取付の際、縦置き／横置きの方向を…