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最終更新日:2023/02/03

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掲載開始日:2023/02/03

【高拡張性&高メンテナンス性】コンパクト有機物蒸着装置HEX-ORCA【R&Dに最適!】

【多目的真空蒸着装置HEXシステム】

  • 【多目的真空蒸着装置HEXシステム】

【有機蒸着源ORCA】

  • 【有機蒸着源ORCA】

HEXシステムは、ミニマムな構成で導入し、研究の方向性の変化に応じて多目的に構成を変更可能な、最小設置面積60cm角のコンパクト真空装置です。ブロックを組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を行うことができます。

『HEX-ORCA』は多目的真空蒸着装置HEXシステムをベースにした有機物蒸着装置です。低温有機蒸着源であるORCAを搭載します。また、加熱、水冷、回転など、様々なサンプルステージが用意されています。有機蒸着装置HEX-ORCAシステムは、OLEDの有機材料やポリマーなど低温材料の蒸着に理想的な真空装置です。

◆標準仕様◆
・多目的真空蒸着装置HEXシステム
・有機物蒸着源ORCA
・80L/sターボポンプおよびスクロールポンプ
・フルレンジ真空計
・ビューポートパネル
・固定水冷サンプルテーブル
・ORCA用DC電源
・膜厚計(QCM)
・マニュアル式シャッター

◆アップグレードオプション(例)◆
・回転水冷サンプルテーブル
・自動シャッター
・追加有機物蒸着源ORCAおよび電源

※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

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